Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9087044 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9087044
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Dual block coater / developer system, 12"
Track configuration 1:
Coat cup: 1
BARC cup: 1
Top Coat cup: 1
Developer cup: 2
ADH: 1
Track configuration 2:
Resist Reduction: RRC
Dev Nozzle: LD
Resist pump: RDS 4ml
Oven Configuration:
PEB: PHP x3
BCT: PHP x2
COT: PHP x2
Post bake: CHP x3
Track chemicals:
Resist supply: Gallon bottle
Thinner: OK73
Currently installed
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine Photoresist-Reinigungsanlage zur Verarbeitung von Halbleiterbauelementen von TEL Limited. Das Photoresist-Reinigungssystem ist für die effiziente und effektive Entfernung von Photoresist-Rückständen und Silikonverunreinigungen von der Oberfläche von IC-Chips ausgelegt. Die Einheit besteht aus einer Widerstandsbahn, die mit einer Megasoneinheit verbunden ist, einem Widerstandsbehälter, einer Elektronenstrahl-Bestrahlungskammer und einer Infrarot-CCD-Kamera, die alle von einem Bedienfeld betrieben werden. Die resistive Spur mit der megasonischen Einheit wird verwendet, um die Photoresist-Reste von den IC-Chip-Oberflächen mit hochfrequenten Schallwellen zu entfernen. Der resistive Plattierungsbehälter dient zur Abscheidung einer leitfähigen Schicht auf dem Chip, wodurch die Elektronenstrahl-Bestrahlungskammer zur Bestrahlung der Chips mit einem Elektronenstrahl verwendet werden kann, was eine vollständige Entfernung der Photoresistreste gewährleistet. Mit der Infrarot-CCD-Kamera werden verbleibende Photoresistreste detektiert, um einen erfolgreichen Reinigungsprozess zu gewährleisten. Der Einsatz von TEL Clean Track ACT 12 gewährleistet eine effiziente und kostengünstige Reinigung von IC-Chips, die in elektronischen Geräten verwendet werden. Die Verwendung der Maschine mildert auch alle Probleme, die durch Photoresistrückstände verursacht werden, die nicht vollständig entfernt werden, was zu einem Geräteausfall führen kann. Darüber hinaus stellt die hochwertige Elektronenstrahl-Bestrahlungskammer des Werkzeugs sicher, dass die Qualität der IC-Chips nicht beeinträchtigt wird. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine zuverlässige und kostengünstige Methode zur Entfernung von Photoresistrückständen und zur Reinigung von Silikonverunreinigungen, die einen zuverlässigen Betrieb elektronischer Geräte gewährleistet. Es ist einfach zu bedienen und effizient, so dass IC-Chips mit höchster Qualität gereinigt herauskommen. Es ist eine zuverlässige Ressource, die den ordnungsgemäßen elektrischen Betrieb der IC-Chips gewährleistet, den Produktausfall reduziert und sowohl den Kunden als auch den Hersteller schützt.
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