Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106025 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist ein Photoresist-Gerät zum Ätzen von Mustern auf der Oberfläche von DUV-Halbleitersubstraten. Photoresists sind lichtempfindliche Chemikalien, die in der Lithographie verwendet werden, um ein Muster von einer Maske oder einem Retikel auf das Substrat zu übertragen. Dieses System hilft, das Muster genau zu definieren, das auf das Substrat geätzt wird. TEL Clean Track ACT 12 besteht aus drei Modulen: dem Corona Igniter, der Resolution Enhancement Technology (RET) und der Step and Repeat Unit (SRU). Der Corona-Zünder ist der erste Schritt im Prozess. Der Zünder führt eine spezielle Chemikalie ein, die als Initiator auf die Oberfläche des Substrats bezeichnet wird, wodurch der Photolack auf dem Substrat aktiviert wird, um eine Schutzschicht zu bilden. Diese Schutzschicht ermöglicht eine präzise Strukturierung des Photolacks nach UV-Licht. Das RET-Modul führt dann das aktivierte Photolacksubstrat auf die nächste Ebene. Dieses Modul verwendet extrem fortschrittliche Bildgebungstechniken, um detaillierte und genaue Muster in der Photolackschicht mit einer sehr hohen Auflösung zu erstellen. Es vereint eine Reihe von Technologien wie Kontaktbildgebung, Schrumpfung und Punktreduzierung, um dieses Ziel zu erreichen. Die SRU ist das dritte und letzte Modul von TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12. Dieses Modul nimmt das vom RET-Modul definierte Photolackmuster und überträgt es auf eine Maske oder ein Retikel. Es dauert dann mehrere Belichtungen auf einen Stepper, um das Muster auf das Substrat zu übertragen. Der Stepper ist eine Vorrichtung, die das Retikel in einem exakten Muster mit präzisen Intervallen bewegt, so dass jede Position korrekt belichtet wird. Clean Track ACT 12 ist eine sehr zuverlässige und präzise Photolackeinheit. Mit seiner Kombination aus Corona Igniter, RET-Modul und SRU kann er die auf Substraten zu ätzenden Muster mit hoher Auflösung und Genauigkeit genau und fein definieren. Diese Maschine wird in vielen Branchen eingesetzt und gilt als eines der fortschrittlichsten verfügbaren Photolacksysteme.