Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106026 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die höchste Reinheit der Geräte und gebackene Produktbilder zu erzeugen. Das System ermöglicht es Benutzern, eine Vielzahl von Substraten zu verarbeiten, einschließlich Halbleiterscheiben, flexiblen gedruckten Schaltungen, verklebten Trägern und optischen Filmen sowie verschiedenen Ätzrückstufen wie Foto, Polyimid und E-Strahl. Der ACT 12-Kopf der Einheit ist ein einstufiger Vorverarbeitungskopf, der sich wie eine automatisierte Partikelentfernungsmaschine verhält. Es ist mit mehreren Technologien ausgestattet, einschließlich Ultraschallschwingungen, thermischem Burst und Strahlreinigung, und kann verwendet werden, um geradlinige und abgewinkelte Substrate zu verarbeiten. Außerdem kann das Werkzeug mit seinen integrierten Kühl- und Heiztechnologien die Prozesstemperatur verfolgen und steuern. Neben der automatisierten Partikelentfernung bietet die Anlage auch ein multidirektionales Spray, das die gesamte Substratoberfläche gleichmäßig bedeckt und den Photolack gleichmäßig aufbringt. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Dicke und wiederholbare Muster auf dem Substrat. Das Modell ist mit einer Spun- Edelstahlkassette ausgestattet, die langfristig für den Einsatz sorgt und hochwertige Maskenmuster beschleunigt. TEL Clean Track ACT 12 bietet hohe Produktivität und niedrige Betriebskosten. Mit der 24-Reihen-Konfiguration kann ein hoher Durchsatz von bis zu 150 Wafern pro Stunde erreicht werden. Die Ausrüstung ist auch mit hochgenauen Sensor- und Kontrollsystemen konzipiert, die eine genaue Platzierung und Gleichmäßigkeit der gemusterten Strukturen gewährleisten. Es ist auch mit einem digitalen Kamerasystem ausgestattet, das jedes Substrat vor Beginn der Verarbeitung überprüfen kann. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 über eine integrierte Spur- und Entlademaschine mit einem automatischen Barcode-Verteilwerkzeug. Es hat auch eine kompakte Bauweise, die für eine Reinraumumgebung geeignet ist. Das Asset verfügt über eine zentrale Kontrollinstanz zur Überwachung und Anpassung der Prozessbedingungen mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche. Es ist auch mit einem Selbstdiagnose- und Analysemodell für Fernbedienung und Analyse ausgestattet.
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