Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106048 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die eine präzise und genaue Strukturierung von Substraten ermöglicht. Das System ist kompakt und bietet eine einfache und vereinfachte Bedienung. Es enthält eine verbesserte Filtrationseinheit, ausgestattet mit einer Antipartikelmaschine, die eine saubere Umgebung innerhalb der Kammer aufrechterhalten kann. Der Substrathalter kann automatisch justiert werden, und das Werkzeug ermöglicht auch mehr Bedienungsflexibilität. Das Asset verfügt über ein mehrzoniges kontaktloses Messmodell, das die Substrate genau messen kann, um eine korrekte Ausrichtung mit Masken zu gewährleisten. Es ist auch mit einer hochgenauen Dosissteuerung mit einer breiten Palette von Dosis- und Energieniveaus ausgestattet, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Das System ist in der Lage, Substrate aller Größen für eine Vielzahl von Anwendungen zu strukturieren. Die Belichtungseinheit enthält einen 870nm ArF-Laserbeleuchter mit einer proprietären Scantechnologie, um einen stabilen, gleichmäßigen Lichtstrahl für das gewünschte Muster zu gewährleisten. Die Maschine verfügt über ein hochauflösendes Bildgebungswerkzeug mit einer maximalen Auflösung von 512x512 dpi. Dieser Bildbestandteil ist ein 10-Bit gut gepflegt und alle Bilder werden mit großer Genauigkeit und Klarheit aufgenommen. TEL Clean Track ACT 12 enthält auch eine Reihe von Reinigungsfunktionen, wie Ionenduschreinigung und Indexreinigung. Ionendusche Reinigung bombardiert das Substrat mit Ionen, während Indexing Reinigung ist eine kontaktlose Methode, die eine magnetische Bürste verwendet, um den Bereich zu reinigen. Das Modell verfügt auch über eine Stützpumpenausrüstung, die ein Sekundärpumpensystem ist, um sicherzustellen, dass das Gerät die erforderlichen Umgebungsbedingungen aufrechterhält. Die Maschine ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie einem eingebauten Verriegelungswerkzeug und einem antistatischen Asset. Schließlich ermöglicht das Modell auch die Fernüberwachung und -steuerung über Ethernet- oder RS232-Ports, auf die über eine Benutzeroberfläche zugegriffen werden kann. Auf diese Weise können Benutzer Parameter schnell und einfach anpassen und Probleme schnell beheben.