Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106173 zu verkaufen
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ID: 9106173
Wafergröße: 8"
Process Block Robotic Arms, 8"
PRA X-Axis Assy:
CT2985-469941-W2 - X Axis Assy (ACT 12), Common
CT2910-200980-13 - X Base (300)
CT2910-401477-11 - X Side Plate (Qty 2)
CT2910-401979-11 - Bracket, Motor (Qty 3)
CT2910-408714-11 - Sensor Bracket (Qty 3)
CT2910-405673-11 - X3 Plate
CT2910-405674-11 - X3 Plate
CT2910-405672-11 - Guide Block (Qty 3)
CT2910-403428-11 - Belt Block (Qty 3)
CT2910-401512-11 - Belt Block (Qty 3)
CT2910-405691-11 - Sensor Shutter (Qty 3)
CT2910-405675-12 - X1 Block
CT2910-405676-12 - X1 Block
CT2910-405677-12 - X2 Block (Qty 2)
CT2910-403433-12 - X2 Block (Qty 2)
CT2910-403533-12 - X3 Block (Qty 2)
CT2910-307254-11 - X2 Plate
CT2910-307255-11 - X2 Plate
CT2910-402169-11 - X2 Plate
CT2910-402170-11 - Plate
CT2910-400001-13 - WAF Sensor Cover
CT2910-400743-11 - WAF Sensor Bracket
CT2910-403435-11 - C Cover (1)
CT2910-490117-11 - C Cover (2)
CT2910-401535-11 - Nut Plate (Qty 2)
CT2910-401550-11 - Cover Bracket (Qty 4)
CT2910-403488-11 - X Cover (Qty 2)
CT2910-403436-11 - X Cover (Qty 4)
CT2910-303738-11 - X Cover
CT2910-303739-11 - X Cover (Qty 20)
CT2910-303740-11 - X Cover
CT2902-400038-11 - Pulley (3-20) (Qty 3)
CT2902-400061-11 - LM Guide (Qty 6)
CT2910-310059-11 - Bracket (Qty 2)
CT2910-407741-11 - Cable Rail (Qty 3)
CT2910-408715-11 - Stopper Block (Qty 12)
CT2910-410980-11 - Cover, Belt (Qty 3)
CT023-001515-1 - Belt, Timing 1290-3GT-6 (Qty 3)
CT023-001777-1 - Belt, Timing 192-3GT-6 (Qty 3)
CT044-001407-1 - Support, PCB SA6-43 (Qty 4)
CT044-001058-1 - Support, PCB SA6-20 (Qty 8)
CT044-000044-1 - Support, PCB EM-3 (Qty 2)
CT2986-402862-W2 - 12" PRA X Axis Assy:
CT2986-401770-11 - 12" X1 Motor Assy
CT2986-401771-11 - 12" X2 Motor Assy
CT2986-401772-11 - 12" X3 Motor Assy
CT2986-401773-11 - 12" X Home Sensor Assy
CT2986-427122-11 - Sensor, 12 Light #01 680 (Assy)
CT2986-427123-11 - Sensor, 12 Detect #01 620 (Assy)
CT2986-401776-11 - 12" WAF Signal Cable
CT2985-442959-W1 - Base (ACT 12) Assy, PRA 8":
CT2910-320885-11 - Plate, Upper
CT2910-321411-11 - Cover, X
CT2910-316994-11 - Frame
CT2910-316995-11 - Plate, Upper
CT2910-316996-11 - Plate, Lower
PRA Z Axis Assy:
CT2985-201532-W3 - 300Z Axis Assy
CT2910-301544-11 - Top Plate
CT2910-100241-12 - Z Main Base
CT2910-100242-12 - Z Main Base
CT2910-100248-12 - Z Side Base
CT2910-100249-12 - Z Side Base
CT2910-100250-13 - Z Side Base
CT2910-100251-12 - Z Side Base
CT2910-301646-12 - Outer Cover (Qty 2)
CT2910-100243-12 - Bottom Base
CT2910-301655-11 - Z Support
CT2910-308116-11 - Z Support
CT2910-401047-11 - Position Pin (Qty 4)
CT2910-401662-11 - Stopper
CT2910-490025-12 - Stopper (Z) (Qty 4)
CT2910-490150-12 - Support Arm
CT2910-301503-12 - Support Arm
CT2910-301522-11 - Support Plate
CT2910-301523-12 - Support Plate
CT2910-400677-11 - Support Bar
CT2910-301524-11 - Guide Block
CT2910-301525-11 - Guide Block
CT2910-301540-12 - Fan Box (Qty 2)
CT2910-401593-11 - Commutation Plate (Qty 2)
CT2910-401590-11 - Belt Block
CT2910-401591-11 - Belt Block
CT2910-313316-11 - Duct Plate
CT2910-313317-11 - Duct Plate
CT2910-406173-11 - Cable Clamp (Qty 2)
CT2910-401594-11 - Belt Clamp (Qty 2)
CT2910-401595-11 - Belt Clamp (Qty 6)
CT2910-401033-11 - Motor Base
CT2910-401034-11 - Block
CT2910-300965-11 - Motor Block
CT2902-400010-11 - Z Motor Pulley
CT2910-300970-11 - Fan Bracket (Qty 4)
CT2910-401299-11 - Cable Clamp (Qty 10)
CT2910-401753-11 - X Board Bracket
CT2910-401592-11 - Sensor Bracket
CT2910-490152-11 - Shtr. Z (Qty 2)
CT2910-301654-11 - Cable Guide (Qty 2)
CT2910-401663-11 - Cable Bracket
CT2910-401687-12 - Flat Rail (5-15)
CT2910-401664-11 - Cover Bracket (Qty 6)
CT2910-401665-11 - Cover Bracket (Qty 2)
CT2910-401668-12 - Cover Support (Qty 4)
CT2910-301657-11 - Cover Bracket (Qty 2)
CT2910-301658-11 - Cover Bracket
CT2910-404714-11 - Position Pin (Qty 2)
CT018-001971-1 - Linear Way LWHS20C2R1420B-LR (Qty 2)
CT023-000961-1 - Belt, Timing 3000-5GT-30 Open
CT023-001873-1 - Belt, Timing 456-3GT-9 (Qty 2)
CT023-001872-1 - Belt PE-100-2 45*3100C (Qty 3)
CT044-001340-1 - Support, PCB FB6-10 (Qty 14)
CT2986-402862-W2 - 12" PRA X Axis Assy:
CT2986-402847-11 - 12" X Fan Assy (Qty 4)
CT2986-401792-11 - 12" X Fan Cable (Qty 4)
CT2981-600409-11 - PRA X Board
CT2986-401737-W2 - 12" PRA Z Axis Assy:
CT2986-401743-11 - 12" Z Motor Assy
CT2986-401832-11 - 12" Brake Signal Cable
CT2986-401744-11 - 12" Z Home Signal Cable
CT2986-401745-11 - 12" Z Fan1 Assy (Qty 6)
CT2986-401746-11 - 12" Z Fan2 Assy (Qty 4)
CT2986-401747-11 - 12" Z Fan Harness1
CT2986-401748-11 - 12" Z Fan Harness2
CT2986-401749-11 - 12" Z Fan Harness3
CT2986-401750-11 - 12" Z Fan Harness4
CT2986-408336-11 - 12" Brake Off Harness
CT2981-600410-11 - PRA Z Board
CT2981-600333-11 - Sensor Brd. L Assy
PRA Z Cover Assy:
CT2985-401531-W2 - Z Cover Assy
CT2910-415404-12 - Cover, Z (Qty 3)
CT2910-301668-11 - Z Cover
CT2910-301669-11 - Z Cover (Qty 2)
CT2910-301670-11 - Z Cover
CT2910-301671-11 - Z Cover
CT2910-301672-11 - Z Cover
CT2910-301673-11 - Z Cover
CT2910-301674-12 - Z Cover
CT2910-301675-11 - Z Cover
CT2910-301676-11 - Z Cover
CT2910-301699-11 - Z Cover (Qty 2)
CT026-100972-1 - Grommet C-30-NG-79-A-1
CT2987-459316-W1 - Sensor Assy, Z Axis (ACT 12):
CT2985-489564-W1 - Fixture Assy, Z Axis (ACT12)
CT2986-467717-W1 - Sensor, PRA Belt 12 #01 (Qty 2)
PRA Theta Axis Assy:
CT2985-403791-W1 - 12 Theta Axis Assy
CT2910-301722-11 - Motor Base
CT2910-402634-13 - Theta Stopper
CT2910-402635-11 - Stopper (Qty 2)
CT2910-403661-11 - Stopper Base
CT2910-401712-11 - Sensor Bracket
CT2910-300200-13 - Board Bracket
CT2910-301726-11 - Cover
CT2910-301727-11 - Cover
CT2910-301724-11 - Cover Bracket
CT2910-309253-11 - Cover Bracket
CT2910-301737-11 - Cover Bracket
CT2910-301738-11 - Cover Bracket
CT2910-302033-11 - Support Bracket (Qty 2)
CT2910-400199-11 - Holder Plate
CT022-000903-1 - Bearing 5002DDUU76 LG2L (299880001011
CT2985-403808-W1 - 12 PRA 4C Base Assy:
CT2910-100477-13 - 12 PRA-HP Base (4C)
CT2910-300496-11 - Support Bar
PRA Z, Theta Cable Assy:
CT2987-400810-W2 - 12 Z Cable Assy1
CT2986-401738-11 - 12" PRA Z Axis Cable Assy1
CT2985-401549-W1 - Z Cable Assy (25L)
CT2987-400811-W2 - 12 Z Cable Assy2:
CT2986-401740-11 - 12" PRA Z Axis Cable Assy2
CT2985-401549-W1 - Z Cable Assy (25L)
CT2987-400812-W1 - 12 Theta Cable Assy:
CT2986-401742-11 - 12" PRA Theta Axis Cable Assy
CT2985-401570-W2 - Theta Cable Assy
PRA Theta Axis Cable Assy:
CT2986-401739-W1 - 12" PRA Theta Axis Assy
CT2986-402876-14 - 12" Th. Motor Assy
CT2985-401759-11 - 12" Th. Fan Cable1
CT2986-401760-11 - 12" Th. Fan Cable2
CT2986-401761-11 - 12" Th. Fan Cable3
CT2986-401762-11 - 12" Th. Fan Cable4
CT2986-401763-12 - 12" Th. Fan Assy (Qty 4)
CT2986-401764-11 - 12" Th. Home Signal Cable
CT2986-401765-11 - 12" Brake Off Cable2
CT2981-600333-11 - Sensor Brd. L Assy
CT2981-600408-12 - PRA Base Board
PRA Pincette Assy:
CT2985-432270-W1 - Fork (ACT 12), PRA 8"
CT2910-207761-11 - Fork(8"), ACT12
CT2985-40770-W1 WAF Block Assy:
CT2904-390016-11 - 8 Inch Standard Block (299880028811
CT020-002765-1 - Bind Screw M2.6*5 SUS304 (Qty 2)
Missing main controller.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist ein hochmodernes Photoresist-Gerät mit einer optimierten Funktionsgröße. Es nutzt die fortschrittliche aktive Klemmtechnologie in seinem Design, das eine hohe Empfindlichkeit und Stabilität im Fotolackfilm ermöglicht. TEL Clean Track ACT 12 von TEL bietet ein optimiertes System, um Photolack und andere Substrate mit extrem niedrigen Defektraten genau und konsequent zu verarbeiten. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 steuert und steuert den gesamten Photolackprozess von der Vorverarbeitung bis zum Wafer Handling/Resist Coating. Zu den Top-of-the-Line-Features gehört eine proprietäre Laser-Mustermaschine, die das Design präzise und präzise auf den Wafer druckt. Das einzigartige Laser-Ausrichtungswerkzeug sorgt auch bei variablen Originalkonstruktionen für konsistente Leistung. Zum Asset gehört auch ein nachträglich strukturiertes IC-Reinigungsmodul zum sanften Waschen des Wafers nach der Beschichtung. Dieses Modell wurde mit einer Nano-Fluidspurausrüstung entwickelt, um Turbulenzen und Fehlstellungen von Musterlösungen zu verhindern, sowie eine fortschrittliche, variable Kantenentfernung, die einheitliche, saubere Kanten bietet. Darüber hinaus integriert Clean Track ACT 12 ein intelligentes Tracking-System, um Fehler am Wafer zu erkennen und ohne Beschädigung genau zu entfernen. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 integriert auch eine Auto-Tracking Reticle Alignment Unit (ATRS), um eine schnelle und zuverlässige Mustergenauigkeit auch über große Glasscheiben hinweg zu gewährleisten. Die Maschine enthält auch Funktionen zur Überwachung der Resistqualität, um tiefere Unvollkommenheiten zu identifizieren. Dieses Tool ist in ein Qualitätssicherungsprogramm integriert, das die Substratbedingungen kontinuierlich überwacht, um eine konstante, hervorragende Leistung in den erzeugten Resists zu gewährleisten. TEL Clean Track ACT 12 Photoresist Asset ist mit ergonomischem Komfort im Auge entworfen; sein Design ermöglicht es, mit benutzerfreundlicher Bedienung zu passen, ohne dass komplexe Ausrichtungseinstellungen angepasst werden müssen. Sein automatisiertes Wafer Handling-Modell ermöglicht auch die lokale Bereinigung von kleineren Defekten mit einer Vielzahl von Eingabemustern. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 bietet unübertroffene Leistung zu einem sehr wettbewerbsfähigen Preis. Mit seinen beispiellosen Fähigkeiten ist dieses Gerät ideal für alle Halbleiterprozessanwendungen. Es ist in der Lage, fortschrittliche Halbleiterbauelemente mit höchster Genauigkeit zu verarbeiten. Mit einem Clean Track ACT 12 Photoresist System installiert, kann jedes Unternehmen erstklassige Qualitätsprodukte in der schnellsten, sichersten und zuverlässigsten Umgebung bieten.
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