Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9138481 zu verkaufen
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ID: 9138481
Wafergröße: 12"
(2) Coaters / (2) Developers system, 12"
IFB
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine revolutionäre Photoresist-Ausrüstung für die Verarbeitung von integrierten Schaltungen und Anwendungen, die eine hohe Präzision erfordern. TEL Clean Track ACT 12 System besteht aus einem chemischen Vorbehandlungsmodul, einer Hochleistungswaschanlage, die feste Partikel entfernt, und einem patentierten lichtempfindlichen Film, der entwickelt wurde, um die Bildklarheit zu maximieren. Das chemische Vorbehandlungsmodul dient dazu, eventuell vorhandene kontaminierte Rückstände auf dem Substrat zu neutralisieren und eine homogene Basis für die Abscheidung des Photoresists zu schaffen. Die Hochleistungswaschmaschine ist darauf ausgelegt, alle festen Partikel von der Oberfläche des Substrats genau zu entfernen, sowie alle Partikel, die versehentlich von der Folie absorbiert worden sein können. Der patentierte lichtempfindliche Film, der in TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 verwendet wird, ist eine einzigartige Abscheidung, die in Verbindung mit dem japanischen Forschungsinstitut RIKEN entwickelt wurde. Der Film maximiert die Auflösung des Bildes und ermöglicht eine höhere Präzision bei Ätz- und Lithographievorgängen. Clean Track ACT 12 verfügt über mehrere Funktionen, die es ermöglichen, auf höchstem Niveau der Präzision durchzuführen. Die im Werkzeug eingesetzte Reinigungstechnik eliminiert Partikel und Partikel, was zu einer verschlechterten Bildklarheit führen kann. Die fortschrittliche Photoresist-Anlage wurde entwickelt, um es dem Schaltungsdesigner zu ermöglichen, schnell von Konzept zu Realisierung mit minimaler Änderung des ursprünglichen Designs zu wechseln. Dieses Modell verwendet ein Hochleistungs-Heizelement, um den Fotolack schnell und gleichmäßig auszuhärten, was schnellere und genauere Anwendungen ermöglicht. Die Fähigkeit zum kontinuierlichen Ätzen von Merkmalsgrößen von 0,18 Mikrometern und darunter ist ein wesentlicher Vorteil von TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12. Diese hochfeste Ausrüstung bietet verbesserte Transistor- und Widerstandsdichten für erhöhte Schaltungsdichten. Die kleinen, aber hochgenauen Merkmale dieses Systems eignen sich besonders gut für Anwendungen, die eine nahezu atomare Präzision erfordern. Darüber hinaus ist TEL Clean Track ACT 12 mit einer Vielzahl von Ätz- und Lithographietechniken kompatibel. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine außergewöhnliche Photolackeinheit, die die Herstellung komplexer Schaltungen mit bis zu höchster Präzision ermöglicht. Die einzigartige Kombination aus fortschrittlicher Reinigungstechnologie, hochgenauen Fotoresistfolien und leistungsstarken Heizungen ermöglicht schnelles Prototyping und schnellere Markteinführungszeiten. Clean Track ACT 12 ist eine bemerkenswert fortschrittliche Photolackmaschine, die entwickelt wurde, um einem stetig steigenden Anspruch an Qualität und Präzision bei der Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen gerecht zu werden.
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