Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9259909 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung für Anwendungen, die eine präzise Resistbeschichtung, Belichtung und Entwicklung auf Substraten wie Halbleiterscheiben erfordern. Das System steuert effizient Resistbeschichtung, Belichtung und Entwicklung Operationen mit einem eingebauten Timing-Controller und enge Temperaturregelung. Das Gerät verfügt über zwei Roboterarme, die eine genaue Resistbeschichtung, Entwicklung und Reinigung innerhalb kurzer Zeit ermöglichen. Diese Maschine reduziert auch die chemische Oxidation von Substraten, was zu verbesserten Filmeigenschaften führt. Das Photolackwerkzeug besteht aus einer Resistkammer, die mit einer Sprühdüse ausgestattet ist, um Photolack präzise über einen Wafer aufzubringen. Die Düse kann bis zu 7 Tröpfchen pro Sekunde auf Wafer aufbringen. Das Gerät wird auch mit einer Wafer-Transfereinheit geliefert, die eine sichere und genaue Handhabung des Wafers ermöglicht. Das Modell verfügt auch über eine Belichtungskammer. Diese Kammer verwendet eine UV-Kurzwellenlänge AMLS (amplitudenmodulierte UV-Laseranlage), um den Photoresist zu belichten. Mit dem Laserstrahl werden direkt Muster auf die Oberfläche des Wafers geschrieben. Nach Beendigung der Belichtung wird der Photolack entsprechend dem Muster dauerhaft verändert. Darüber hinaus verfügt das System über eine automatisierte chemische Behandlungseinheit. Diese Maschine umfasst ein automatisiertes Bürstenwerkzeug, um die chemische Reinigung des Wafers während der Verarbeitung durchzuführen. Auch die chemische Prozesskammer, mit der Eintauchen, Naßätzen, Säureätzen, photochemisches Ätzen usw. durchgeführt werden kann, ist im Asset ausgestattet. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der zur Bearbeitung der Wafer verwendeten chemischen Mittel. Das Modell ist auch mit einer Überwachungs- und Steuereinrichtung ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, die Kammertemperaturen und Betriebsbedingungen in Echtzeit zu überwachen und dabei Prozesse wie Belichtung, Reinigung und chemische Behandlung zu steuern. Das System bietet auch eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), um den Betrieb zu erleichtern. Das Gerät verfügt über eine ausgezeichnete Zuverlässigkeit und kann eine genaue Beschichtung und Strukturierung auf einer Vielzahl von Substraten erreichen. Die Maschine hat eine breite Palette von Anwendungen in Branchen wie Unterhaltungselektronik, Medizintechnik und Automobil-Halbleiterherstellung.