Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9265669 zu verkaufen
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ID: 9265669
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Resist coater / Developer system, 12"
Single block
Track 1:
(2) Coater cups
(2) Developer cups
ADH
Track 2:
Resist reduction: RRC
Developer: SH Nozzle
Resist pump: RDS 10 ml
Oven configuration:
(4) PHP
(2) CHP
(2) CWH
(2) CPL
Track chemicals:
Resist supply: Gallon bottle
Thinner: OK73
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine vollautomatische Photoresist-Ausrüstung zur Verbesserung der Effizienz von Maskenherstellungsprozessen in der Großelektronik. Sein fortschrittliches Design nutzt eine Reihe von gemusterten Reinigungstechnologien, einschließlich Spray-, Entwicklungs- und Spülsystemen, um die Reinigungsergebnisse von höchster Qualität zu gewährleisten. Das System bietet eine beispiellose Reinigungsleistung und kann bis zu 1.000 Wafer pro Stunde verarbeiten. TEL Clean Track ACT 12 nutzt ein zweiarmiges Design, bestehend aus einem beweglichen Reinigungsarm und einem feststehenden Arm, um den Reinigungsprozess zu optimieren. Dadurch wird sichergestellt, dass die Lösung für gleichmäßige Ergebnisse gleichmäßig über die gesamte Oberfläche des Wafers verteilt wird. Das Gerät ist mit einem Sechs-Düsen-Sprühgerät ausgestattet, das die Mustergenauigkeit optimiert und die bis zu dreifache Fläche eines herkömmlichen Sprühgeräts abdeckt. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 verfügt auch über ein umfassendes Entwicklungsmodul, das eine Druckkammer umfasst, um konsistente und reproduzierbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das Modul reduziert die Lösungsverdampfung und den Antrieb, was zu präzisen und zuverlässigen Entwicklungs- und Ätzprozessen führt. Die Maschine verwendet auch Spültechnologien, die Kreuzkontaminationen minimieren und die Leistung verbessern. Clean Track ACT 12 bietet auch eine Reihe von benutzerfreundlichen Optionen wie die Fähigkeit, den Abstand zwischen dem Reinigungsarm und dem Wafer zu überwachen und einzustellen, und die Fähigkeit, die Zusammensetzung der Reinigungslösung zu kontrollieren. Das Tool ist auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und kann von Bedienern mit minimalem Training schnell eingerichtet und konfiguriert werden. Darüber hinaus ist die Anlage entworfen, um den Wartungsaufwand zu minimieren, mit einem Full-Size-Lüfterfiltermodell, das sicherstellt, dass saubere Luft in der gesamten Kammer umgewälzt wird, ohne dass eine häufige Reinigung oder Austausch erforderlich ist. Abschließend bietet TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 eine zuverlässige, automatisierte Photolackausrüstung, die für effiziente Maskenbildungsprozesse ausgelegt ist. Sein fortschrittliches Design kombiniert eine umfassende Palette von Musterreinigungstechnologien mit benutzerfreundlichen Optionen, die es dem Bediener ermöglichen, den Reinigungsprozess schnell und genau zu steuern. Dies gewährleistet höchste Leistung bei minimalem Wartungsaufwand.
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