Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9265670 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine Photolackausrüstung für die Halbleiterindustrie. Es wurde entwickelt, um sauberere Umgebungen für Lithographieanwendungen bereitzustellen. Das System verwendet ein einzigartiges mehrstufiges Reinigungsdesign, um maximale Sauberkeit zu gewährleisten. Die Vorrichtung reinigt den Photolack von der Oberfläche des Substrats mit Hilfe einer Anordnung von Düsen und Pumpen. Zur Reinigung können die Düsen durch eine präzise Schlitzdüsenkonstruktion einen optimalen Reinigungsfluss erzeugen. Die Schlitzdüse erzeugt einen turbulenten Luftstrom, der große Partikel in kleine Stücke zerlegt, um die Entfernung zu erleichtern. Darüber hinaus können die Düsen auch eine Anordnung von Saugkanälen zur effizienten Extraktion von Partikeln aus der Oberfläche schaffen. Der Reinigungsvorgang wird durch den Zusatz zusätzlicher Düsen, die Hochdruckgas einspritzen, verstärkt, was zum Aufbrechen von anhaftenden Partikeln und gekapselten Blasen dient. Die von der Einheit verwendeten Pumpen sind Membrankonstruktionen, die ein Vakuum innerhalb des Tanks erzeugen. Dieses Vakuum ermöglicht es dem Benutzer, den Reinigungsprozess für verschiedene Anwendungen anzupassen. Es gibt drei Größen von Pumpen, von klein bis groß, die unterschiedliche Kombinationen von Druck und Volumen aufnehmen. Jede Pumpe enthält auch eine effiziente Druckregelmaschine, die sicherstellt, dass der Druck immer in einem optimalen Bereich ist. Darüber hinaus ist TEL Clean Track ACT 12 mit einem Wasserreinigungswerkzeug ausgestattet, das sicherstellt, dass der Tank sauber ist, indem Chemikalien, Schmutz und andere Verunreinigungen aus dem Leitungswasser entfernt werden. Dies reduziert nicht nur die Verschmutzung des Photolacks, sondern verbessert auch die Leistung des Reinigungsvorgangs. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 nutzt auch eine visuelle Inspektion, um die Qualität der Substratoberfläche zu überwachen. Dieses Modell besteht aus drei Kameras, die innerhalb der Einheit platziert sind und ein Bild des Substrats vor, während und nach dem Reinigungsprozess aufnehmen. Dies hilft dem Anwender sicherzustellen, dass der Fotolack effektiv entfernt wurde und die Oberfläche noch glatt und frei von Defekten ist. Insgesamt ist Clean Track ACT 12 eine hochentwickelte Photolackausrüstung, die eine bessere Reinigungsleistung und eine bessere Kontrolle über den Lithographieprozess bietet. Das effiziente Reinigungsdesign des Systems in Kombination mit seinen robusten Wasseraufbereitungs- und Sichtkontrollsystemen sorgt für einen erfolgreichen Reinraumbetrieb.