Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266471 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Verarbeitung und Herstellung von überlegenen Halbleiterbauelementen. Es ist eine High-End-Ausrüstung, die fortschrittliche Fotowiderstandstechnologien und -prozesse in einem vollautomatischen, kostengünstigen und zuverlässigen Paket bietet. Das System besteht aus Hauptkomponenten, darunter eine Laserscannereinheit mit integrierter Laseroptik und einem recycelbaren Vakuumspanntisch. Die Laserscanner-Einheit ermöglicht eine präzise Strahlausrichtung und Wiederholbarkeit in Bezug auf die Maskierung von Daten im Blickfeld, während der Vakuumspanntisch eine zuverlässige Substratbeschichtung, eine Strahlungsexpansionskontrolle und die Beseitigung von potenziellen Defekten wie Partikeldispersionen ermöglicht. TEL Clean Track ACT 12 ist mit mehreren fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, die die Leistung verbessern, Kosten senken und die Wartung vereinfachen, einschließlich einer schnellen Wärmebelastung und einer schnellen thermischen Entwicklung (RTED). Diese Maschine liefert eine erhebliche Verringerung des Materialverbrauchs und der Prozesszeit, indem sie nicht wesentliche Belichtungskomponenten eliminiert und die Substratbelichtung mit der Materialbelichtung koppelt. Das Werkzeug kommt auch mit einem Hochleistungs-Ultraviolett-Laser, der eine schnelle Belichtung von größeren Abmessungen und höheren Dichten von Mustern ermöglicht. Darüber hinaus unterstützt es ein hochpräzises Substratausrichtungselement zur genauen Positionierung, ein Randbelichtungs-Mehrfachreflexionsmodell für verbesserte Mustereinheitlichkeit und einen Spülkassettenreiniger zur Verhinderung von Prozessvariabilität. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 mit einer vollautomatischen Ausrüstung ausgestattet, die in der Lage ist, mehrere Wafergrößen zu handhaben, sowie ein Substratfeld mit reduziertem Durchmesser des Ferseneffektsystems. Mit seinen Rezepturen bietet das Gerät eine hohe Prozessgleichmäßigkeit, indem es Partikeldispersion und Laserwellen kompensiert. Insgesamt ist Clean Track ACT 12 eine fortschrittliche Photolackmaschine, die den Anforderungen der anspruchsvollsten Halbleiterbauelementanwendungen gerecht wird. Seine Eigenschaften und Zuverlässigkeit machen es geeignet, den Produktionsdurchsatz kostengünstig und zuverlässig zu maximieren. Darüber hinaus bietet das Tool ein hohes Maß an Prozessuniformität und -leistung, und seine vollautomatische Ressource bietet eine vereinfachte und effiziente Arbeitssoftware.