Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9280162 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9280162
Coater / (2) Developer system, 12"
CSB
PRB1
IFB
Chemical box
Thermo controller
(2) Fire system boxes
Left to right
Carrier type: FOUP
Loading configuration: 3 FOUP's
(3) Main controllers
Main system:
Main frame with system controller
Carrier station:
Type: FOUP Cassette
(3) Cassettes
Unicassette system
Coater unit:
(6) Dispense nozzles with temperature controlled lines
RDS Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse system: (2) Buffer tank systems (3 Liters)
Degassing system
Programmable side rinse:
(1-6) PR Nozzles
(6) Bottles (1 Bottle / 1 Nozzle)
CCSS Thinner supply
AMC Suck-back valve
Direct drain
I/F Wafer stage type: NIKON SF130
Chemical cabinet: Solvent, HMDS, DEV
Developer unit:
H-Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
2-Points for back side rinse
Developer system: (2) Buffer tank systems (3 Liters)
Degassing system
Developer temperature control system
Direct drain
Adhesion units (ADH):
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
Local HMDS supply
(5) Low Temperature Hot Plates (LHP)
(4) Chill Plates (CPL)
(2) Precision Chilling Hot Plates (PHP)
(2) TRS
Transfer Chill Plate (TCP)
Wafer Edge Exposure (WEE):
UV Sensor: i-Line
SHINWA Series ESA-8 Temperature and humidity controller
Temperature Control Unit (TCU)
AC Power box
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung, die Anwendern hilft, saubere, hochauflösende Muster auf einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen. Photoresist ist eine lichtempfindliche Art von Material und wird in vielen industriellen Anwendungen wie der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet, um elektrische Verbindungen und Strukturen auf einem Substrat zu schaffen. Der ACT 12 verwendet eine Kombination aus Fokus, Beleuchtung und Bühnensteuerung, um Muster in einem Auflösungsbereich von bis zu 12 Mikrometern zu erzeugen. Hauptbestandteil des ACT 12-Systems ist das hochauflösende optische Mikroskop. Es ist in der Lage, eine präzisere Abbildung als herkömmliche optische Mikroskope und bietet auch ein größeres Sichtfeld. Eine spezielle Beleuchtungseinheit bietet dann genaue Beleuchtung für Musterprozesse, so dass bis zu 30 Stufen der Prozesssteuerung, wenn in Verbindung mit einem dedizierten Stufenregler verwendet. Diese Kombination von Komponenten ermöglicht eine präzise Strukturierung von Miniaturschaltungselementen auf verschiedenen Substraten mit Auflösungen von bis zu 12 Mikrometern. Neben dem optischen Mikroskop und der Beleuchtungsmaschine verfügt der ACT 12 auch über ein integriertes Photoresist-Steuerwerkzeug. Diese Ressource hilft, die verschiedenen Parameter des Photolackmodells genau auf eine optimale Leistung einzustellen. Ebenfalls im Lieferumfang des ACT 12 ist eine korrosionsbeständige Edelstahlschale enthalten, die sich ideal für die Montage von Substraten vor dem Photoresist-Auftragsprozess eignet. Ein weiteres bemerkenswertes Merkmal der ACT 12 Ausrüstung ist ihre Fähigkeit, in einem breiten Spektrum von Umweltbedingungen zu arbeiten. Mit seiner korrosionsbeständigen Konstruktion eignet sich das System für den Einsatz in feuchten oder korrosiven Umgebungen sowie extremen Temperaturen. Dies ist besonders vorteilhaft bei der Herstellung von Strukturen auf Substraten an empfindlichen oder gefährlichen Stellen. TEL Clean Track ACT 12 ist eine hochmoderne Photolackeinheit, die eine präzise Steuerung von Parametern zur Strukturierung von Miniaturschaltungselementen auf einer Vielzahl von Substraten bietet. Mit seinem optischen Mikroskop, den beleuchteten Stufen und der integrierten Photoresist-Steuerungsmaschine erzeugt der ACT 12 saubere, hochauflösende Muster in einem Auflösungsbereich von bis zu 12 Mikrometern. Darüber hinaus ist es robust genug, um in einer Vielzahl von gefährlichen Umgebungen zu arbeiten.
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