Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9284887 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung für Ätz- und Lithographieverfahren bei der Herstellung integrierter Schaltungen. Das System verwendet einen eingebauten temperaturgesteuerten Ofen und eine Kammer, die konstant auf einem niedrigen Druck gehalten wird. Die Konstruktion verfügt über eine automatisierte Waferübertragungseinheit zum Transport von Wafern zwischen Prozessen in einer werkseitigen Umgebung. Die Maschine enthält auch ein integriertes hochpräzises Laserausrichtwerkzeug zur Bestimmung der genauen Position des Wafers. TEL Clean Track ACT 12 verfügt über eine Reihe von Funktionen und Funktionen zur fortschrittlichen Vorbehandlung von Wafern mit Photoresists. Es ist mit einer fortschrittlichen Spin-Duschflüssigkeit für den Photoresist-Einsatz ausgestattet, die bei variablen Geschwindigkeiten auf Drehung eingestellt werden kann. Das Asset verfügt zudem über ein integriertes Belichtungsmodell, das UV-Energie mit einem quecksilberfreien Excimerlaser exakt auf definierte Bereiche des Wafers aufbringt. Die Metallhalogenidlampe kann gegebenenfalls auch zur Belichtung von Photoresists verwendet werden. Die präzisionsgesteuerten Trocken- und Nassätzfähigkeiten in TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 verfügen über eine kombinierte Plasma-Asche-/Strippstation für Trocken- und Nassätzprozesse. Die softwaregesteuerte Ausrüstung hat die Fähigkeit, die Ätzrate anzupassen, was eine bessere Steuerung der Ätzfunktionen in der mikroelektronischen Produktion ermöglicht. Das nachträglich angewandte chemische Material und die Nachätzbehandlungen werden über ein eingebettetes computergesteuertes System überwacht und verwaltet. Clean Track ACT 12 Einheit verfügt über umfassende Partikel- und Chemieabfallhandhabungsfunktionen. Die Maschine wurde entwickelt, um die Partikelemissionen auf weniger als 0,1 Mikron zu kontrollieren und ist für den Einsatz ohne riskante Substanzen zertifiziert. Dies bedeutet, dass das Werkzeug mit fortschrittlichen Filtersystemen ausgestattet ist, um die Emission von Partikeln zu kontrollieren, so dass die Benutzer in sauberer Umgebung arbeiten können. Zusammenfassend ist TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 photoresist asset ein kompaktes und leistungsstarkes Produktionsmodell, das innovative Funktionen wie präzise Vorbehandlungs- und Ätzfähigkeiten, fortschrittliches Partikel- und Chemieabfallmanagement sowie eine integrierte Überwachungsausrüstung für einen sichereren Betrieb bietet.