Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9378136 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine Photolackverarbeitungsanlage, die den Bedarf an fortschrittlichen Lithographieverfahren in der Halbleiterindustrie erfüllt. Photoresist ist der lichtempfindliche Film, der verwendet wird, um komplexe Muster und Merkmale auf integrierten Schaltkreis (ICs) Wafern zu erzeugen. Das System verfügt über eine hochgenaue Substratstufe zur präzisen Positionierung des Wafers und eine hochwirksame Kraft-Weg-Sensoreinheit, um eine exakte Resistdicke während der Belichtung zu gewährleisten. Die Maschine wurde entwickelt, um tiefe, kontrastreiche, reflexionsarme, großflächige und hohe Seitenverhältnisse auf dem Wafer für eine Vielzahl von Anwendungen beizutragen. Um seine hohe Leistung zu erreichen, verwendet das Tool mehrere erweiterte Werkzeuge und Funktionen. Erstens verfügt es über ein Hochleistungsgerät mit laserbasierter optischer Belichtung, das eine Genauigkeit von Submikron erreicht. Das Belichtungsmodell bietet zudem eine reflexionsarme Hartmaskentechnologie und Trockenätzverfahren, um ein hochpräzises Trockenätzen von Photoresist zu ermöglichen. Darüber hinaus ist das Gerät energieeffizient mit der Einführung eines hocheffizienten, direkten Laserstrahl-Belichtungssystems, das die Photolackbelichtungskosten erheblich reduziert. Darüber hinaus ist das Gerät so konzipiert, dass eine Vielzahl von Operationen direkt vor Ort ausgeführt werden können, während sich der Wafer in der Maschine befindet, wodurch ein minimierter Umweltfußabdruck gewährleistet ist. Beispielsweise können erweiterte Musterprozesse wie Seitenwandmustern, Abheben von Mustern und Lötmustern ohne Wafer-Manipulation durchgeführt werden. Darüber hinaus nutzt das Tool ein hochauflösendes Bildverarbeitungsmaterial, um optische Zeichenerkennung (OCR), Wafer-Mapping und Fehleranalyse zu ermöglichen. Dies ermöglicht eine Echtzeit-Inline-Überwachung der Resistabscheidungs- und Belichtungsprozesse für verbesserte Ausbeuten. Darüber hinaus verfügt TEL Clean Track ACT 12 über eine leistungsstarke, mehrachsige Roboter-Handlinglösung, die bei der Handhabung und Verarbeitung von Wafern hilft und die Waferproduktion weiter verbessert. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist ein leistungsstarkes Werkzeug, das eine verbesserte Lithographie-Leistung in der Halbleiterindustrie mit überlegenen Auflösungsfähigkeiten ermöglicht. Zudem bietet es mit seinem energieeffizienten Direktlaser-Belichtungsmodell Kostenvorteile und stellt so sicher, dass Prozesse möglichst effizient und präzise abgeschlossen werden.