Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9412474 zu verkaufen

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um präzise, schrittweise Prozesse auf empfindlichen und empfindlichen elektronischen Materialien durchzuführen. Es verwendet patentierte verdeckte Präzisionsspurtechnologie, um Wafer mit einer Vielzahl von präzisen Rezepten zu verarbeiten. Das System besteht aus einer Hauptspur, die bis zu 12 Wafer gleichzeitig aufnehmen kann, bis zu 2 Wafergrößen-Abgabeventile, 2 Reinigungsstäbe, 2 Spritzenpumpenventile, einen Vision-Kassettenlader und ein Hochfrequenzmodul. Der Visionskassettenlader ermöglicht es dem Gerät, jeden Wafer automatisch zu identifizieren und an die entsprechende Position in der Spur zu übertragen. Es ist auch in der Lage, die Wafer nach ihrer Größe und Orientierung auszurichten. TEL Clean Track ACT 12 verwendet eine spezialisierte Photoresist-Applikationsmaschine, um eine saubere und konsistente Oberflächengüte auf den fertigen Wafern zu erreichen. Der Photolack wird mit zwei primären Methoden, Tauchen und Spin Coating, unter Zusatz einer Vielzahl von anderen Spezialanwendungen aufgebracht. Die Präzisionsbahn ermöglicht eine präzise und wiederholbare Anwendung des Photolacks in einer sauberen und schmutzfreien Umgebung, wodurch eine mögliche Verschmutzung der fertigen Wafer vermieden wird. Die Maschine verfügt außerdem über zwei separate Reinigungsstäbe, einen für die Photolackapplikationsseite und einen für die Ober- und Unterseite der bearbeiteten Wafer. Verschiedene Reinigungsmittel können verwendet werden, um unerwünschte Partikel oder Rückstände gründlich und vollständig zu entfernen. Eine Endspülung kann auch durchgeführt werden, um sicherzustellen, dass alle Photoresists vollständig entfernt wurden und die Wafer frei von Verunreinigungen sind. Das Werkzeug ist auch mit einem speziellen HF-Modul ausgestattet, mit dem der Bediener die Belichtungseinstellungen des Fotolacks anpassen kann, um die genaue Anwendung des Fotolacks zu gewährleisten. Diese Funktion ermöglicht die Feinabstimmung der Belichtungseinstellungen, um die genauen Anforderungen der einzelnen Wafer zu erfüllen, was eine hohe Präzision und wiederholbare Ergebnisse gewährleistet. Die Anlage ist auch für eine schnelle und einfache Wartung ausgelegt, die eine schnelle und mühelose Reinigung und den Austausch von Waferhaltern, Fotolackventilen und anderen Teilen ermöglicht. Dies sorgt für eine optimale Leistung des TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12, wodurch Ausfallzeiten reduziert und die Produktivität gesteigert wird.