Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 / ACT 12 #9138479 zu verkaufen
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ID: 9138479
Wafergröße: 4"-12"
Coater / Developer system, 4"-12"
Either silicon wafer substrate or LED sapphire substrate
Windows GUI scheduler software
Up to date Indutrial PC controller
High speed SATA SSD storage system with RAID feature
Wafer level recipe processing and command
Real time process log
Online communication (SECS/GEM)
Group monitoring
Either uni-cassette (open cassette) or SMIF (3 SUCs or 4 SUCs) Integrated CSB
Wafer flow modification (Left to right or Right to left)
Step/Scanner interface modification
Integrated photo resist dispense monitoring system
Integrated chemical dispense monitoring system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12 ist eine Photoresist-Ausrüstung von TEL (TOKYO ELECTRON) für den Einsatz in hochpräzisen Lithographieverfahren. Das System besteht aus zwei Stufen: der Stufe ACT 8 und der Stufe ACT 12. Die ACT 8-Stufe ist eine komplette Resistverarbeitungseinheit, die vor der Belichtung Photoresist auf das Substrat aufbringt. Es ist mit einer Doppel-Wäscher-Einheit ausgestattet, um Schmutz und Kontamination vom Substrat zu entfernen, bevor der Resist aufgebracht wird. Zum ACT 8 gehört auch ein ASCII-Controller, der eine programmierbare Rezeptsteuerung sowie chemische Einspritzung und chemische Temperaturregelung ermöglicht. Die Stufe ACT 12 ist eine messtechnische und resistgebackene Einheit, die die kritische Dimension eines beliebigen Musters auf dem Substrat nach der Exposition misst. Es enthält auch einen Timer für Heiz- und Kühlschritte und eine beheizte atmungsaktive Scheibe für automatisches Backen. Der ACT 12 ist mit einer Vielzahl modernster Erkennungsverfahren ausgestattet, um maximale Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Die beiden Stufen von TEL Clean Track ACT 8/ACT 12 arbeiten zusammen, um eine überlegene Resistverarbeitung zu erzielen. Seine fortschrittlichen Technologien bieten Genauigkeit und Zuverlässigkeit auf Branchenebene und sind somit eine ideale Wahl für hochpräzise Lithographiearbeiten. Das Werkzeug ist mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die während der Arbeit einen überlegenen Schutz vor verschiedenen Umweltbedingungen bieten. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12 für eine einfache Wartung und Reparatur konzipiert, die maximale Up-Time und effizienten Betrieb ermöglicht. Insgesamt ist Clean Track ACT 8/ACT 12 Asset ein fortschrittliches und zuverlässiges Photoresist-Modell, das für die anspruchsvollsten Lithographieanforderungen geeignet ist. Es wurde entwickelt, um überlegene Genauigkeit zu bieten und gleichzeitig Ausfallzeiten und das Risiko einer Kontamination zu minimieren. Mit Funktionen wie programmierbarer Rezeptsteuerung und automatisiertem Backen ist TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12 eine gute Wahl für jede Lithographieanwendung.
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