Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #162688 zu verkaufen
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ID: 162688
Wafergröße: 8"
(2) Coaters / (2) Developers system
4 UNCs Open cassette CSB
Single block
(1) IFB
Currently installed.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung von TEL. Es verwendet eine proprietäre proprietäre Dry Scrub-Technologie, um entwickelte Photoresist-Reste mit hoher Effizienz und Genauigkeit zu reinigen und zu entfernen. Das System verwendet eine einzigartige Kombination aus Hochgeschwindigkeits-Rotationsbürste, Vakuumextraktion und Ultraschall-Vibration, um organische Rückstände von Substraten zu heben. Die Einheit soll organische Rückstände in einem Durchgang mit hoher Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Genauigkeit vollständig entfernen können. Die Maschine besteht aus zwei Hauptkomponenten: dem Clean Track Scrubber und dem Clean Track Vacuum Tool. Der Clean Track Scrubber ist eine zylindrische Wäschereinheit mit einem Bürstenkopf in der Mitte. Der Bürstenkopf wird von einem Motor angetrieben, um gegen den Uhrzeigersinn zu schleudern, die Waferoberfläche zu schrubben und organische Rückstandspartikel zu entfernen. Gleichzeitig werden Ultraschallschwingungen auf die Waferoberfläche aufgebracht, was den Waschprozess weiter verbessert und eine gleichmäßige Entfernung organischer Rückstände gewährleistet. Das Clean Track Vacuum Asset wurde entwickelt, um die vom Wäscher erzeugten Schmutzpartikel zu extrahieren. Es besteht aus einer Vakuumkammer, einem Abgasventilator und einem Magnetventil. Beim Drehen der Rotationsbürste werden Partikel von der Waferoberfläche entfernt. Die Vakuumkammer erfasst und transportiert sie dann über den Auslassventilator und das Magnetventil vom Modell weg. TEL Clean Track ACT 8 bietet professionelle Reinigungsleistung, die die strengsten Anforderungen der Automobil-, Medizin- und Halbleiterindustrie erfüllt. Die Ausrüstung hat einstellbare Bürstengeschwindigkeit und verbesserte Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Es bietet auch geringe Ausfallzeiten, da der Prozess schnell und effizient durchgeführt wird. Darüber hinaus bietet das System ein hohes Maß an Sicherheit und Umweltleistung, da es darauf ausgelegt ist, den Bedarf an gefährlichen Chemikalien zu minimieren und gleichzeitig strenge Umweltvorschriften einzuhalten.
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