Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #193036 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 193036
Wafergröße: 8"
(4) Coater / (4) Developer system, 8"
Double block
IFB
(4) SUCs
SMIF
CSB.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die von TEL Limited (TOKYO ELECTRON) entwickelt und hergestellt wurde. Es ist eines der führenden Photolacksysteme auf dem Markt. Das System wurde entwickelt, um saubere, konsistent belichtete Photoresists ohne schädliche Rückstände bereitzustellen. TEL Clean Track ACT 8 Einheit besteht aus einer Sprühausgabemaschine, einem wasserstrahlunterstützten Sprühausgabewerkzeug, einer Kopfeinheit, einer Kopfstufe und einer Steuerung. Die Sprühabgabe wird verwendet, um Photoresist auf die Glasoberfläche zu zerstäuben und zu liefern. Die zerstäubten Tröpfchen werden dann gleichmäßig über das Substrat verteilt. Das wasserstrahlunterstützte Sprühabgabemodell erhöht die Dispergierleistung der Photoresistpartikel zu einem gleichmäßigen Film auf dem Substrat. Die Kopfeinheit wird verwendet, um das Substrat zur Belichtung genau zu positionieren, während die Kopfstufe verwendet wird, um den Resist unter der Belichtungsstrahlung genau zu positionieren. Der Controller dient zur Steuerung der physikalischen Parameter des Belichtungsprozesses, wie Intensität, Dauer und Belichtungstiefe. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist mit einer Reihe fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie einer chemischen Detektionsausrüstung, einem Antikontaktsystem und einem Spritzschutz. Die chemische Detektionseinheit überwacht die Konzentration des in der Maschine verwendeten Photolacks und verhindert gefährliche Verschüttungen oder Emissionen. Das Antikontaktwerkzeug wird verwendet, um Kontakt zwischen dem Substrat und der Belichtungsquelle zu verhindern, wodurch das Risiko von Beschädigungen minimiert wird. Der Spritzschutz reduziert die Spritzrate des Photolacks und sorgt für eine saubere und gleichmäßige Belichtung. Clean Track ACT 8 ist für den Einsatz im Lithographie- und Musterverfahren konzipiert. Die Anlage wird verwendet, um eine strukturierte Schicht präzise und präzise auf das Substrat zu übertragen und so Fotoresistfilme höchster Qualität zu liefern. Das Modell eignet sich für die Belichtung von Halbleiterscheiben, integrierten Schaltungen, flachen Displays, Formen und anderen Komponenten. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von Fotoresists kompatibel, so dass Benutzer den besten Fotoresist für ihre Bedürfnisse auswählen können. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist ein zuverlässiges und einfach zu bedienendes System, das hochpräzise Belichtungsfunktionen und erweiterte Sicherheitsfunktionen bietet. Diese Photolackeinheit eignet sich ideal für eine Reihe von industriellen Anwendungen, von der Grundlithographie bis zur komplexen Strukturierung.
Es liegen noch keine Bewertungen vor