Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293628555 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Anlage für High-End-lithographische Prozesse. Das System verfügt über einen vertikalen Widerstandskopf, der sehr gleichmäßige Qualitätsergebnisse ermöglicht. Die hochpräzise Vorrichtung bietet eine homogene Belichtung über die gesamte Resistoberfläche. Das Gerät ist auf eine hohe Wiederholbarkeit bei der Verarbeitung von 0,5 μ m Strukturen ausgelegt und kann daher in anspruchsvollen Produktionslinien eingesetzt werden. Das Gerät verfügt über eine Maskenebene Abbildungslinse, die 1X bis 5X Reduktion des Fotolacks ermöglicht. Die Linse ist in der Lage, alle Aspekte des Resists durch Manipulation der Linse zu betrachten und zu vergrößern, wodurch die gewünschten Ergebnisse erzielt werden können. Das Gerät verfügt über eine Stufen- und Wiederholungsfähigkeit, die es ermöglicht, mehrere Bilder, Masken und Filme gleichzeitig zu belichten, um Zykluszeiten zu reduzieren. Die Maschine kann auch Substrate im Bereich von 4 Zoll bis 6 Zoll aufnehmen und ist in der Lage, Belichtungen von 5,6 μ m oder weniger. Das Tool verfügt über eine integrierte Arm-Steuerung, die es Benutzern ermöglicht, die Resistschicht zu manipulieren und die verschiedenen Parameter, die mit der Photolithographie verbunden sind, wie Belichtungsdosis, Fokus und Verschlusszeit, zu optimieren. Diese Funktion macht das Gerät zu einer idealen Wahl für hochpräzise Wafer-Anwendungen und Produktion. Das Design von TEL ACT 8 ermöglicht es Anwendern, alle Aspekte des Photolithographie-Prozesses von der Belichtung bis zur Fokussierung zu überwachen, zu automatisieren und zu steuern. Das Gerät verfügt über eine integrierte Diagnose, die Informationen über die Prozessleistung und Einstellungen liefern kann. Das Gerät verfügt auch über Temperaturregeleinstellungen, die eine verbesserte und präzise Steuerung des Photolithographie-Prozesses ermöglichen. Die Anlage verwendet digitale Servomotoren mit hoher Präzision, die im Vergleich zu herkömmlichen analogen Servomotoren eine wesentlich höhere Genauigkeit ermöglichen. Zur präzisen Positionierung und Ausrichtung der Masken und Folien umfasst das Gerät auch hohe wiederholbare Ausrichtungseinstellungen. All diese Merkmale sorgen dafür, dass TOKYO ELECTRON ACT 8 ein ideales Werkzeug für High-End-lithographische Prozesse ist. Das Gerät kann Prozesse wie das Subviertelmikron-Beschlussvorsprungssteindruckverfahren erleichtern, das einer der fortgeschrittensten in der Halbleiterindustrie verwendeten Prozesse ist. Das Gerät eignet sich daher für jede lithographische Verarbeitungsanwendung, die präzise Prozesskontrolleinstellungen und genaue Ergebnisse erfordert.