Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293633988 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung zur Herstellung hochgenauer Schaltungsmuster auf Halbleiterscheiben. Das System verwendet die Lichtbelichtung, um selektiv einen Photolack von der Oberfläche des Wafers aufzutragen und zu entfernen. Durch spezialisierte und anspruchsvolle Belichtungs- und Entwicklungsprozesse ist das Gerät in der Lage, präzise, hochauflösende Muster mit einer minimalen Linienbreite von 8 Nanometern zu erzeugen. TEL ACT 8 Maschine besteht aus einem Belichtungskopf, Wafer Handler und einer Schrittstufe. Der Belichtungskopf dient als Lichtquelle und enthält eine Laserdiode, die Laserlicht mit Wellenlängen bis 248 nm emittiert. Durch die Schrittstufe kann sich der Belichtungskopf horizontal und vertikal bewegen, was eine genaue Belichtungssteuerung ermöglicht. Der Belichtungskopf kann eingestellt werden, um eine Vielzahl von Belichtungsprozessen zu unterstützen, einschließlich Einpunkt- oder Mehrpunktlaserbelichtung und Scanbelichtung. Der Wafer-Handler liefert den Wafer zur Schrittstufe und sammelt ihn nach der Belichtung. Es ermöglicht dem Anwender auch Waferorientierung, Substrataustausch und Waferausrichtung durchzuführen. Darüber hinaus unterstützt das Werkzeug eine Vielzahl von Substraten, einschließlich Silizium und Glaschips. Die Anlage wurde entwickelt, um ein hohes Maß an Genauigkeit, Einheitlichkeit und Reproduzierbarkeit sowie Flexibilität im Umgang mit einer breiten Palette von Materialien zu bieten. Mit dem Modell kann eine Reihe von Belichtungstechniken eingesetzt werden, einschließlich dynamischer Belichtungsoptimierung, mehrfacher Belichtung und Kompensation von sphärischer Aberration. TOKYO ELECTRON ACT 8 kommt auch mit einer Reihe von Steuerungssoftware und Hardware-Tools, um Benutzern zu helfen, die gewünschte Qualität und Auflösung in den Schaltungsmustern zu erreichen. Es beinhaltet eine Software zur Analyse von Belichtungsmustern und Funktionen zur automatischen Musteranpassung, die es Anwendern ermöglichen, die Anforderungen und Belichtungsbedingungen des Photolacks anzupassen, um die gewünschte Genauigkeit und Genauigkeit des Musters zu erreichen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON ACT 8 eine leistungsstarke Photolackausrüstung, die eine hohe Genauigkeit und Gleichmäßigkeit bei der Herstellung von Schaltungsmustern auf Halbleiterscheiben bietet. Seine spezialisierten Belichtungs- und Entwicklungsprozesse ermöglichen hochpräzise und reproduzierbare Schaltungsmuster von minimaler 8-Nanometer-Linienbreite. Darüber hinaus machen seine Suite von Steuerungssoftware und Hardware-Tools es einfach zu bedienen und für verschiedene Anwendungen anpassen.