Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293767233 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die für den Einsatz in fortgeschrittenen Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Photolacksysteme sind zur Steuerung des belichteten Musters eines Fotolackfilms auf einem Wafer ausgebildet. Diese Art von Verfahren ist notwendig, um die extrem präzisen Muster und spezifischen Geometrien zu erreichen, die in modernen, anspruchsvollen Chips erforderlich sind. Das TEL ACT 8 System besteht aus drei Hauptkomponenten: der Dispense Unit, der CD Measurement Machine und dem Laser Direct Writer. Das Dispense Tool ermöglicht die präzise Zuführung von Fotolackfilmmaterialien auf das Substrat. Die CD Measurement Asset wurde entwickelt, um die kritischen Abmessungen von Schaltungsmustern auf dem Fotolackfilm für Genauigkeit und Präzision zu messen. Schließlich gibt der Laser Direct Writer einen hochpräzisen Laserstrahl auf den Photolack aus, der gezielte Schaltungsmuster scharf abgrenzt. TOKYO ELECTRON ACT 8 Modell verfügt über leistungssteigernde Technologien, einschließlich einer Rasterelektronenmikroskop-bildgebenden Ausrüstung, die eine schnelle automatisierte Bildverarbeitung und einen Hochleistungs-Oberwellen-Impulsgenerator zum konformen Schreiben von 3-dimensionalen Photoresist-Mustern ermöglicht. Die Maschine verfügt außerdem über einen optimierten Strahlprofilstabilisator und ein Next Generation Proximity Effect Correction Module. Diese Merkmale gewährleisten hochpräzise Photolackmuster mit randloser Integrität durch Präzisionsmusterkompensation. Das System ist ferner in der Lage, die Belichtungsdosis von Photoresistfilm zu messen, um Rückmeldung über den Belichtungsprozess zu geben. TOKYO ELECTRON ACT 8 Einheit ist mit erweiterten Steuerungs- und Überwachungsalgorithmen programmiert, entworfen, um die totale Kontrolle über den Belichtungsprozess zur Verfügung zu stellen. Es verfügt über integrierte Datenbankverwaltungsfunktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, Parameter und Ergebnisse während des gesamten Belichtungsprozesses in Echtzeit aufzuzeichnen. Die Maschine verbindet sich über ein lokales Netzwerk mit dem Host-Computer, um die Kommunikation mit anderen Geräten und Personal zu gewährleisten. ACT 8 liefert präzise und präzise Filmbelichtungsmuster, die hohe Produktausbeuten im Herstellungsprozess aus auf Wafer aufgebrachten lichtempfindlichen Resistschichten ermöglichen. Die Kombination aus hochzuverlässiger Filmlieferung, präziser Mustererkennung und -steuerung sowie effizienter Bildanalyse kombiniert mit fortschrittlichen Steuerungs- und Datenbankfunktionen machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die moderne Halbleiterproduktfertigung.