Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293821422 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 ist eine spezialisierte photoresist chemische Verarbeitungsanlage für photolithographische Anwendungen. Das System bietet eine hohe Genauigkeit bei der Kontrolle kritischer Funktionen und eine signifikante Selektivität beim Design verschiedener fortschrittlicher lithographischer Strukturen. Es bietet eine breite Palette von Inspektions-, Prozess- und Bildgebungsfunktionen, um eine optimale Photolackverarbeitung und fortschrittliche lithographische Designstrukturen zu gewährleisten. Die Einheit umfasst einen Maskenausrichter mit einem Vakuumfutter, einen mehrspurigen Scanner, eine Belichtungseinheit und eine Entwickleranordnung. Der neu entwickelte Nanopositionierer des Maskenausrichters gewährleistet eine genaue und konsistente Ausrichtungsgenauigkeit von Sub-Mikron bei einer Wiederholgenauigkeit von ± 3 nm, was einen hochgenauen Filmkontakt und einen hohen Durchsatz ermöglicht. Der mehrspurige Scanner bietet Hochgeschwindigkeits-Scans mit einstellbaren Strahlfleckgrößen und erweiterten Bildgebungsfunktionen für den Rosettendruck und fortschrittliche Lithographietechniken. Die Belichtungseinheit bietet die Möglichkeit, die Dosis auf ein hohes Maß an Genauigkeit und eine Auswahl an Lichtquellen für verschiedene Substratmaterialien und Prozessanforderungen zu steuern. Die Entwickler-Baugruppe bietet eine automatisierte Steuerung der chemischen Bearbeitungszeiten und Temperaturen, so dass die Maschine eine optimale Schaltungsleistung erzielen kann. Das Tool enthält eine digitale Bibliothek mit Rezepten und Prozessverläufen, um die Effizienz und Wiederholbarkeit des Bedieners zu gewährleisten und gleichzeitig die Rückverfolgbarkeit der Daten zu erhöhen. Die Bibliothek ist mit allen unterstützten Systemen (Windows/Linux-Betriebssysteme) kompatibel und kann nahtlos in bestehende Software- und Hardwarebibliotheken integriert werden. Mit einer Vielzahl von integrierten Simulationswerkzeugen und Analysen trägt TEL ACT 8 zur Gewährleistung von Schaltungsleistung und Strukturen bei, die exakte Leistungsanforderungen erfüllen. Insgesamt bietet TOKYO ELECTRON ACT 8 die höchste Genauigkeit, Selektivität und Durchsatz in der Branche, mit dem breitesten Spektrum an Inspektions-, Prozess- und Bildgebungsfähigkeiten, um eine optimale Photolackverarbeitung und -design von fortschrittlichen lithographischen Strukturen zu gewährleisten. Die Fähigkeit der Anlage, Substratmaterialien und Prozessanforderungen mit Präzision, Genauigkeit und Geschwindigkeit zu bewältigen, macht es zu einer idealen Wahl für Photolithographie-Anwendungen.