Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9235479 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für den Einsatz in Halbleiterphotomasenmuster- und -verarbeitungsanwendungen konzipiert ist. Dieses System ist ein trockener Film photowiderstehen Absetzungseinheit, die einen Roboterarm für die genaue Absetzung der photowiderstehen Schicht auf die Substratoberfläche verwertet. Diese Maschine ist in zwei Konfigurationen erhältlich, der Standard ACT 8 und der ACT- 8-XHD. Der ACT 8 ist mit einem höherauflösenden Tröpfchengenerator integriert, der eine höhere Auflösung von 0,4 Mikrometern ermöglicht. Zusätzlich ist das Werkzeug mit vier Ausgabeköpfen zur gleichzeitigen Abscheidung ausgestattet und kann mindestens 200 Wafer pro Stunde ablegen. Diese Anlage wurde mit einem Lichtrohrmodell entwickelt, das verwendet wird, um eine gleichmäßige Exposition gegenüber jedem Substrat zu gewährleisten. Die Lichtleitung belichtet den Photoresist intensiven ultravioletten und bildgebenden Licht, um ultrahochauflösende Muster zu schaffen. Dieses Gerät verwendet auch ein Rezirkulations- und Filtersystem zur effizienten Abgabe von Photolacklösung mit weniger Abfall. Die ACT 8 ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Substraten einschließlich gammasensitiver Materialien umzugehen und kann für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden. Es kann verwendet werden, um Dünnschichtstrukturen, Kontakte und Linienverdichtung zu mustern. Darüber hinaus ist die Einheit in der Lage, Bondpads zu strukturieren, Overlay-Prozesse durchzuführen und die Rückseite der Substrate zu strukturieren. Darüber hinaus nutzt diese Maschine die INFINITY Photoresist Management Software. Diese Software wird verwendet, um relevante Parameter wie Lösungsversorgung, Bildausrichtung und Auflösung zu überwachen und Kopfstatus abzugeben. Es wird auch verwendet, um die richtige Belichtung für jedes Substrat zu gewährleisten und Warnmeldungen zu liefern, wenn es irgendwelche Abweichungen im Werkzeug gibt. Insgesamt ist TEL Clean Track ACT 8 ein Hochleistungs-Photoresist-Asset, das den Anforderungen von Halbleiterphotomasenmuster- und -verarbeitungsanwendungen gerecht wird. Dieses Modell ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Substraten umzugehen und kann für viele Anwendungen verwendet werden. Zusätzlich ist das Gerät mit der INFINITY Photoresist Management Software ausgestattet, die einen präzisen und effizienten Betrieb dieses Systems ermöglicht.