Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269229 zu verkaufen

ID: 9269229
Weinlese: 2004
System 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung. Dieses System verfügt über eine fortschrittliche Oberflächenreinigungstechnologie, die in der Lage ist, zusätzliche Staub und Partikel vom Substrat zu entfernen, bevor es Photoresist ausgesetzt wird. Dies reduziert die Wahrscheinlichkeit einer Kontamination und Fehlerbildung, was zu einer schlechteren Leistung oder einem Produktausfall führen kann. TEL Clean Track ACT 8 verwendet einen fortgeschrittenen optischen Zustandsprofiler oder OSP, der Teilchen in Teilchengröße auf der Oberseite eines Substrats detektieren kann. Einmal erkannt, passt das OSP automatisch die Oberflächenreinigungsparameter an, um eine optimale Entfernung von Partikeln zu gewährleisten, die dann mittels Defect Density Imaging (DDI) bestätigt werden können. Diese ausgeklügelte Technologie liefert eine große Präzision und Genauigkeit, wenn es darum geht, ein sauberes Substrat für die weitere Verarbeitung zu erreichen. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 verfügt zudem über eine synchronisierte Beschichtungseinheit, die eine gleichmäßige Beschichtung über das gesamte Substrat ermöglicht. Diese Maschine verwendet ein Präzisionsoblatenstufenpositionierungswerkzeug, um konsequenten Substratkontakt während des Überzugprozesses zu liefern, sicherstellend, dass optimale Gleichförmigkeit dessen Absetzung photowidersteht. Darüber hinaus nutzt diese Anlage auch ein neuartiges Autofokus-Modul, um die Genauigkeit der Ausrichtung und optischen Bildaufnahme während der Inspektion zu maximieren. Dieses Modul verbessert nicht nur die Bildqualität, sondern erleichtert auch den Prozess der Fehlerauswertung am Wafer mit erhöhter Genauigkeit. Clean Track ACT 8 enthält auch eine integrierte Belichtungsbedingungsdatenbank (ECDB), die eine höhere Anpassung an die spezifischen Anforderungen jedes Auftrags ermöglicht. Diese ECDB trägt dazu bei, dass die Belichtungsbedingungen für jedes Substrat optimiert werden, wodurch die Gesamtqualität der Photolackschicht weiter verbessert wird. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ein anspruchsvolles Photoresist-Modell mit vielen fortschrittlichen Funktionen, die eine hervorragende Leistung bieten. Mit modernster Oberflächenreinigungstechnologie, präziser Wafer-Inszenierung, einer innovativen Autofokus-Ausrüstung und einer integrierten Belichtungszustandsdatenbank eignet sich dieses System perfekt für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen.
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