Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269230 zu verkaufen

ID: 9269230
System 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung für präzise und effiziente Musterung. Das System verwendet Hochleistungs-Photolack, eine spezielle Art von lichtempfindlichem Material, das ein sehr feines detailliertes Muster ergibt, wenn es Licht ausgesetzt wird. Der Fotolack ist auf einer spezialisierten Roboter-Wafer-Handhabungseinheit montiert, die Wafer mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit bewegen kann. Die Maschine nutzt High-End-Optik, einschließlich eines hochwertigen linear polarisierten Lasers, der eine präzise Belichtung des Photolacks ermöglicht. Das Laserbelichtungswerkzeug ist so ausgerichtet, dass Präzisionsmuster erzeugt werden. Diese Präzision richtet das Kapital für ultimative Effizienz aus. Der Hochleistungs-Photolack wird mit der Roboterscheiben-Handhabung des Modells auf den Stempelwafer aufbereitet und aufgebracht. Die präzise Bewegung des Roboters ist in der Lage, jeden Wafer schnell zu positionieren, um sicherzustellen, dass das gewünschte Muster und/oder die gewünschte Geometrie erzeugt wird. Das Roboter-Wafer-Handhabungssystem transportiert dann den Wafer zur Belichtungseinheit, die den Photolack dem Licht des Lasers aussetzt. Durch die Belichtung verhärtet sich der Photolack in Form des gewünschten Musters. Sobald die Belichtung abgeschlossen ist, wird der Wafer zur Entwicklungsmaschine bewegt, die heißes Wasser oder Chemikalien verwendet, um den unbelichteten Photoresist aufzulösen und das endgültige Muster oder die Geometrie aufzudecken. Aus diesem letzten Schritt ergibt sich ein hochdefiniertes, präzises Wafermuster, das zur weiteren Verarbeitung bereit ist. TEL Clean Track ACT 8 Werkzeug verfügt über eine hochpräzise mikropräzise Ausrichtung Asset. Es passt automatisch die Ausrichtung des Belichtungsmodells an, wodurch zeitraubende manuelle Setups entfallen. Dies ermöglicht eine ultrapräzise und wiederholbare Strukturierung. Das Gerät verfügt über eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, einschließlich eines hochpräzisen Wafer-Ausrichtungssystems für eine effiziente und genaue Wafer-Handhabung, Autofokus-Steuerung, um eine präzise Belichtung zu gewährleisten, und einem Gerätemonitor, um Echtzeit-Fehlererkennung und Datenprotokollierung bereitzustellen. Insgesamt bietet die Maschine TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ein schnelles, präzises und effizientes Fotolackwerkzeug, das ein hochgenaues Muster liefern kann. Das Asset ist ideal für präzise, präzise Prozessabläufe.
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