Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269251 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die hochpräzise Kontrolle und Messung mit zuverlässiger Beständigkeit gegen eine breite Palette von Chemikalien kombiniert. Sie ermöglicht es Anwendern, prozesskritische Dünnschichtschichten mit Präzision und Genauigkeit effizient herzustellen, ohne dass eine weitere Reinigung erforderlich ist. TEL Clean Track ACT 8 System ist um zweiachsige bildaufnehmende optische Mikrometer ausgelegt. Dies ermöglicht die XY-Koordinatenpositionierung von Glasschiebersubstraten mit einer Auflösung von bis zu 8 Mikrometern, wodurch der Photolackprozess für Dünnschichtanwendungen auf Geräteebene präzise durchgeführt werden kann. Die Einheit ist auch mit einer Antireflexionsbeschichtung ausgestattet, um Fehler zu reduzieren, die durch die Reflexion von Licht von der Oberfläche des Substrats verursacht werden. Der in TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 eingesetzte Photolack verwendet eine einzigartige Kombination aus chemischen und mechanischen Prozessen. Dazu gehören die direkte Abgabe der Lösung, eine gleichmäßige Abdeckung der Resistschicht und eine optimale Übertragung der Spinnkraft für eine effektive Spinnkraftregelung. Alle diese Prozesse sind inhärent miteinander verwandt, um ein effizientes und zuverlässiges Photolackwerkzeug zu schaffen. Die Anlage verwendet auch ein einzigartiges Reinigungsmodell für die Reinigung der Substrate und Resist nach dem Photoresist-Prozess. Diese Reinigungsausrüstung verwendet Alkohol und Schallreinigungsrührer, um die höchste Sauberkeit nach der Fotobelichtung zu gewährleisten. Das Alkoholreinigungssystem ist speziell entwickelt, um Kontaminationen auf den Substraten zu reduzieren und zu widerstehen. Um die Genauigkeit der Ergebnisse zu gewährleisten, bietet Clean Track ACT 8 auch eine automatische „Qualitätsprüfung“ jeder Resistschicht während des Spinnvorgangs. Dadurch wird sichergestellt, dass jede Schicht sauber ist und dem gewünschten Standard entspricht. Die einzigartigen Fähigkeiten der TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 Maschine haben es Anwendern ermöglicht, prozesskritische Dünnschichtschichten auf hohem Niveau mit Präzision und Genauigkeit zu produzieren. Das Werkzeug bietet zudem eine zuverlässige Beständigkeit gegen eine breite Palette von Chemikalien, so dass die Ergebnisse stets konsistent und zuverlässig sauber sind.