Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282574 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8
ID: 9282574
Wafergröße: 8"
Coater / Developer system, 8" Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die ein zuverlässiges und effektives Verfahren zur Strukturierung fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte bietet. Es ermöglicht es Benutzern, Photolackmuster sauber auf Substrate nahezu jeder Form oder Größe zu übertragen, einschließlich schwer zu musternder vertiefter oder erhöhter Gerätebereiche. Das System besteht aus mehreren Komponenten, darunter einem Präzisions-Photomasken-Aligner, einem Stepper/Scanner und einem Elektronenstrahl-Coater/Entwickler. Der Präzisions-Photomasken-Aligner erleichtert eine genaue Ausrichtung der Fotomaske auf das Substratsubstrat und sorgt für eine effektive Übertragung der Muster. Zusätzlich kann der Photomasken-Aligner so eingestellt werden, dass ein Ausrichtverschluss aktiviert wird, der sich für eine präzise Ausrichtung schnell öffnet und schließt. Der Stepper/Scanner ermöglicht eine automatisierte Belichtung der Photolackmuster auf das Substrat. Es enthält ergonomisch gestaltete Wafer-Handhabungs- und Substratabtastkomponenten und bietet optische Abbildungsmöglichkeiten für transparente und undurchsichtige Substrate. Die letzte Komponente der Einheit ist die Elektronenstrahlbeschichtung/Entwickler, die verwendet wird, um die Photolackbeschichtung auf dem Substrat aufzubringen und zu entwickeln. Dieses Bauelement ist darauf ausgelegt, den Photolack gleichmäßig und zuverlässig aufzubringen. Sein Elektronenstrahl ist hochgenau und ermöglicht eine genaue Strukturierung mit scharfen, gut definierten Kanten. Darüber hinaus ist sein Photolackentwicklungsprozess schnell und effizient. TEL Clean Track ACT 8 bietet die optimale Kombination aus Leistung und Zuverlässigkeit für die Strukturierung moderner elektronischer Geräte. Seine Komponenten sorgen für präzise Ausrichtung, genaue Belichtung und gleichmäßige und zuverlässige Photolackanwendung und -entwicklung. Dadurch kann die Maschine mikroelektronische Bauelemente strukturieren, die eine hohe Präzision und Zuverlässigkeit erfordern.
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