Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282575 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8
ID: 9282575
Wafergröße: 8"
Resist coater / Developer system, 8" Multi block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die eine saubere und genaue Verarbeitung mit minimalen Rückständen ermöglicht. Es ist eine hocheffiziente und präzise Technologie, die telezentrische Optik und intelligente Automatisierungen verwendet, um höhere Genauigkeit und Durchsatz zu ermöglichen. Das System besteht aus vier Hauptkomponenten; die Bühne, das Retikel, die Lithographieeinheit und die Photolackstation. Die Bühne ist eine horizontale Ausrichtmaschine mit einer beweglichen Bühne und einem stationären Retikel. Die bewegliche Bühne ist eine zuverlässige und langlebige motorisierte Bühne, die eine breite Palette von Substraten unterstützt. Das stationäre Retikel liefert eine Genauigkeitsreferenz für die genaue Ausrichtung und Platzierung des Substrats. Das Lithographie-Tool besteht aus telezentrischer Optik und Scan-Control-Asset. Die telezentrische Optik sorgt für einen tiefen Fokus und eine gleichmäßige Ausleuchtung der Substrate, was eine genauere Belichtung ermöglicht. Das Scansteuerungsmodell stellt sicher, dass die Belichtung wie angegeben erfolgt und der Durchsatz steigt. Die Photolackstation ist mit einem Aufschleuderkopf ausgestattet, der Kreuzkontaminationen während des Prozesses eliminiert. Es unterstützt mehrere Arten von Spin-on-Photoresists, einschließlich positiver, negativer und neutraler. Es bietet genaue Spin-on-Beschichtung und stabile Resisteigenschaften für eine optimale Prozesskontrolle. Schließlich wird TEL Clean Track ACT 8 von einem automatischen Endzeigesystem begleitet, das den Belichtungsprozess überwacht und kontrolliert und einen verbesserten Durchsatz und eine verbesserte Genauigkeit ermöglicht. Die Endpunkteinheit ermöglicht dem Anwender die vollständige Kontrolle über das Expositionsprofil und gewährleistet eine gleichmäßige Abdeckung und Auflösung. Abschließend ist die Maschine TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ein zuverlässiges, effizientes und präzises Photolackwerkzeug, das für Bastler, Prototypen und Profis gleichermaßen geeignet ist. Die telezentrische Optik, das Scansteuerungsmodell, die Substratstufe und die Resist-Station des Asset sorgen für hohe Genauigkeit und Produktivität. Die automatische Endpunktausrüstung sorgt dafür, dass der Belichtungsprozess wie angegeben abgeschlossen ist, was eine gleichmäßigere Beschichtung und eine höhere Auflösung ermöglicht.
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