Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9300430 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung für das hochwertige Photolithographieverfahren. Dieses System erleichtert verschiedene Bearbeitungsschritte, einschließlich Spinnen, Backen und Entwickeln, alle innerhalb eines einzigen automatisierten Moduls. Es ist speziell auf eine optimale Steuerung und hohe Ausbeuten bei hochpräzisen lithographischen Prozessen ausgelegt. TEL Clean Track ACT 8 ist mit einem hochpräzisen Bewegungsregler und einer Motion Visioning Unit (MViS) ausgestattet. Dies gewährleistet die präzise und sehr reproduzierbare Positionierung der Waferstufe auch bei langen Läufen. Darüber hinaus setzt die Maschine verschiedene fortschrittliche Technologien ein, darunter einen High-Speed Grobbewegungsregler, einen schnellen Linearcodierer und einen Closed-Loop Axis Drive (CLAD). Diese Kombination von Eigenschaften gewährleistet eine reibungslose, zuverlässige und genaue Bewegungssteuerung sowie eine präzise Positionierung der Waferstufe. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 bietet hervorragende Reinigungsmöglichkeiten für Substrate; es ist mit einer gleitfähigen Trapezklingenreinigungsstation ausgestattet. Diese Station verwendet Schleifblätter, um Partikel sanft von der Substratoberfläche zu entfernen und Kanteneffekte zu reduzieren. Es ist ferner mit einem Partikel- und Verschmutzungsüberwachungswerkzeug zur kontinuierlichen effektiven Prozesskontrolle ausgestattet. Diese Überwachungseinrichtung verwendet Vor-Ort-Ionisator und Abluftsysteme, um eine überlegene Substratreinheit zu gewährleisten. Neben den Bewegungssteuerungs- und Reinigungsfunktionen bietet Clean Track ACT 8 eine Vielzahl von Bildgebungs- und Musteroptionen. Es ist mit Einfach- und Doppelkopfscannern für die schnelle Abbildung großer Substrate ausgestattet und umfasst eine Vielzahl von Musterverfahren wie Exposure Laser Scanning (ELS), Contact PR Copies (PRC) und integrierte Off-Axis Auto-Alignment zur Definition präziser Bildmuster. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist ein umfassendes Photoresist-Modell, das entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige, reproduzierbare lithographische Ergebnisse zu liefern. Es bietet hervorragende Bewegungssteuerung, Substratreinigung und bildgebende Funktionen, so dass Benutzer präzise und genaue Photolithographie-Prozesse erzielen können. Seine fortschrittlichen technologischen Eigenschaften und die Vielzahl an Musteroptionen machen es zu einer großen Wahl für hochpräzise Prozesse, die überlegene Erträge und Prozesskontrolle gewährleisten.