Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9361997 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8
ID: 9361997
(4) Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die Anwendung von ultradünnen, präzisen und hochgleichmäßigen Filmen aus Photoresist-Materialien entwickelt wurde. Das System besteht aus mehreren externen Komponenten, darunter eine Lichtquelle, eine Optikeinheit und eine Vakuumübertragungsmaschine. Die Lichtquelle ist eine kundenspezifische Xenon Kurzbogenlampe, die breites Spektrallicht einschließlich des UV-Bereichs erzeugt. Das von der Lampe erzeugte Licht wird dann von einem kundenspezifischen optischen Werkzeug gesammelt und fokussiert, das das Wellenlängenspektrum entsprechend dem verwendeten Photolackmaterial richtet. Die Optik steuert auch den Fokus, die Divergenz und die Gleichmäßigkeit des Lichtstrahls. Das Photolackmaterial wird in einem Vakuumkolben oder Tank gelagert und durch ein kundenspezifisches Transfermodell dem Lichtstrahl ausgesetzt. Dieses Gerät besteht aus einem Verschluss, einer Kondensationslinse und einer Vakuumübertragungskammer. Der Verschluss dient zur Steuerung der Lichtbelichtungszeit des Photolackmaterials. Die Kondensationslinse konzentriert das Licht auf das Substrat, während die Vakuumübertragungskammer für eine gleichmäßige Belichtung sorgt. Das System umfasst auch eine integrierte Messeinheit zur Überwachung und Steuerung der Eigenschaften des Photolackmaterials. Diese Messmaschine ist mit einem Computerwerkzeug mit spezieller Software verbunden, die die Eigenschaften des Substrats und des Photolackmaterials auswertet. Dieses Asset ermöglicht eine hohe Kontrolle und Genauigkeit. TEL Clean Track ACT 8 ist ein hochentwickeltes Photoresist-Modell, das für die Herstellung ultradünner, präziser und hochgleichmäßiger Photoresist-Filme entwickelt wurde. Durch die Kombination aus kundenspezifischer Lichtquelle, Optik und Transferausrüstung bietet das System ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Genauigkeit und bleibt einfach zu bedienen und zu warten.
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