Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9402762 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist eine Photolackausrüstung zur Reinigung und Oberflächenpräparation von Halbleitermaterialien. Es verwendet eine patentierte Roboterarmanordnung, um Reinigungsflüssigkeit automatisch direkt auf die Oberfläche des Materials abzugeben. Anschließend wird die Flüssigkeit abgesaugt, wobei eine gleichmäßige und saubere Beschichtung auf der Oberfläche verbleibt. TEL Clean Track ACT 8 besteht aus einem Controller, einer Digitalkamera, einem Manipulatorarm und einem Dampfsperrsystem. Die Steuerung bietet Schnittstelle zum Prozessrezept, zur Gerätesicherheit und zum programmierbaren Betrieb. Die Digitalkamera wird verwendet, um die Bewegung der Roboterarmanordnung zu erfassen, was die notwendige Rückmeldung für eine genaue Reinigung und Beschichtung liefert. Der Manipulatorarm ist so konzipiert, dass er eine reibungslose und präzise Bewegung der Reinigungsflüssigkeit ermöglicht. Die Dampfsperreinheit ist so ausgelegt, dass das Entweichen flüchtiger Dämpfe während des Reinigungsprozesses minimiert wird. Alle diese Komponenten kommen zusammen, um eine komplette und zuverlässige Photolackmaschine zu schaffen. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 ist mit einem Vision-Subsystem ausgestattet, das es ermöglicht, Materialfehler, die durch einen manuellen Inspektionsprozess verpasst werden könnten, genau zu erkennen. Dieses Werkzeug umfasst auch ein intelligentes Materialhandhabungsmodul, das verschiedene Materialien leicht erkennen und seine Parameter entsprechend anpassen kann. Der Reinigungsprozess wird durch Einbringen einer Reinigungsflüssigkeit und anschließendes Abscheiden eines Photolackmaterials eingeleitet. Der Abscheidungsprozess wird mit einer kurzwelligen UV-Lichtquelle durchgeführt und anschließend Fotobelichtung und -entwicklung durchgeführt. Nach den Reinigungs- und Beschichtungsvorgängen wird die Vorrichtung dann mit Wasser oder einem geeigneten Lösungsmittel gespült, um überschüssiges Photoresistmaterial zu entfernen. Clean Track ACT 8 ist eine einfach zu bedienende, zuverlässige und kostengünstige Photolackanlage, die konsistente Reinigungs- und Beschichtungsergebnisse liefert. Es wurde entwickelt, um den gesamten Prozess der Reinigung und Beschichtung von Halbleitermaterialien zu optimieren und ist damit die ideale Wahl für Unternehmen, die eine effiziente Lösung suchen.