Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293641947 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung, die physikalische und chemische Verarbeitung zu feinen Mustern auf Halbleiter- und anderen mikroelektronischen Oberflächen kombiniert. Dieses System wird verwendet, um feine Merkmale mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit auf Wafern und Substraten zu schaffen. Die Einheit besteht aus fünf Hauptkomponenten: einer Lichtquelle, einem Mustergenerator, einem Coater/Entwickler, einem Analysator und einer Vakuumkammer. Die Lichtquelle emittiert Licht hoher Intensität mit einer bestimmten Wellenlänge und einem bestimmten Muster, das den Photolack auf dem Substrat aktiviert. Der Mustergenerator erzeugt über eine Reihe von Strahlen ein genaues Muster, das dann durch die Lichtquelle hindurchgeht. Der Coater/Entwickler beschichtet dann das Substrat mit Photolack, der dann dem strukturierten Licht ausgesetzt wird. Der Photolack wird dann chemisch entwickelt, wodurch ein auf die Substratoberfläche geätztes Muster entsteht. Schließlich misst der Analysator effektiv die Genauigkeit des geformten Musters. Dies geschieht, indem Daten von dem strukturierten Substrat in der Vakuumkammer gesammelt werden, wodurch der Analysator Abweichungen zwischen dem Substrat und dem gewünschten Muster erkennen kann. Der Analysator ermöglicht es dem Bediener auch, Anpassungen des Mustergenerators und/oder der Lichtquelle vorzunehmen, um die gewünschte Mustergenauigkeit zu erreichen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Inline-Infrarotmikroskop und ein Gasförderwerkzeug, das eine präzise Steuerung der Entwicklungs- und Ätzraten ermöglicht. Dies geschieht durch Regelung der Temperatur und Konzentration der Gase zur Einstellung ihrer Reaktivität. Das Endergebnis ist ein unglaublich präzise gemustertes Substrat, das in einem Bruchteil der Zeit als traditionelle Photolithographie entsteht. Damit ist TEL Clean Track ACT Lithius asset eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für eine Vielzahl von Mikroelektronik-Anwendungen.