Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293649381 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius ist eine Photolackausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein fortschrittliches, leistungsstarkes Werkzeug zur gleichmäßigen und präzisen Entfernung von Photoresistresten. Es verwendet ein automatisiertes Tracking-System, um eine gleichbleibende Leistung zu gewährleisten und die Partikelverunreinigung in der Produktion zu minimieren. TEL Clean Track ACT Lithius nutzt eine Vielzahl verschiedener Technologien, um den Photolack aus dem Halbleiterbauelement zu entfernen. Zunächst werden eine Reihe von chemischen Lösungen verwendet, um das Material aufzulösen. Danach trägt eine Isopropylalkoholspülung dazu bei, dass das Material vollständig verschwunden ist. Anschließend wird mit einem hochenergetischen Plasma die Oberfläche der Vorrichtung vollständig geätzt. Schließlich wird ein Hochtemperatur-Niederdruckgas verwendet, um die Oberfläche zu schrubben und eventuell verbleibende Photoresistspuren umfassend zu entfernen. Das Gerät umfasst eine Steuerung, einen Wafer-Handler, eine chemische Abgabe, eine Waschstation und eine Laserätzstation. Das Hauptziel der Maschine ist es, Partikelverunreinigungen durch eine präzisere Handhabung der Wafer zu minimieren. Der Wafer-Handler ermöglicht dem Werkzeug eine präzise und gleichmäßige Photoresist-Reinigungsleistung entlang der gesamten Waferoberfläche. Es enthält auch eine integrierte Vision Asset, um alle Partikel zu identifizieren, die den Wafer während der Verarbeitung kontaminieren können. Die chemische Lieferung bietet eine präzise und präzise Steuerung chemischer Reaktanten sowie ein Reagenzmanagement-Modell, um Zeit und Kosten zu sparen, sowie eine chemische Automatisierungsanlage, um minimalen Abfall zu gewährleisten. Die Plasmaätzstation verwendet eine Hochfrequenzplasma-Technik, mit der die Photoresistreste schnell und effizient von der Oberfläche entfernt werden können. Schließlich spült die Waschstation mit einem Niederdruckgasstrom verbleibende Rückstände für einen perfekt sauberen Wafer aus. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius ist ein hochentwickeltes, effektives und zuverlässiges Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es wurde entwickelt, um Partikelverunreinigungen zu reduzieren und überlegene Leistung zu liefern. Sie ermöglicht eine schnelle und effiziente Reinigung und gewährleistet eine gleichbleibend hochwertige Geräteherstellung.