Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z-i #293811868 zu verkaufen
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ID: 293811868
Weinlese: 2021
Coater / Developer system
Temperature & Humidity (T&H) Controller
Chemical Filter
MACRD Pump
Dispense line monitor
2021 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z-i ist eine hochmoderne Photolackausrüstung für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse. Dieses System ist integraler Bestandteil des Lithographieverfahrens, bei dem Muster auf Siliziumwafer, die Bausteine integrierter Schaltungen, übertragen werden. Der Lithius Pro Z-i wurde speziell entwickelt, um hohe Präzision, Zuverlässigkeit und Leistung für die Produktion von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation zu bieten. Kern der Lithius Pro Z-i Einheit ist die fortschrittliche Gleisplattform, die mehrere Prozessmodule nahtlos integriert, um eine effiziente und automatisierte Verarbeitung von Siliziumwafern zu ermöglichen. Die Maschine ist mit einer Reihe innovativer Technologien ausgestattet, die zu ihrer überlegenen Leistung beitragen. Eines der Hauptmerkmale des Lithius Pro Z-i ist seine verbesserte Sauberkeit und Partikelkontrolle, die für die Gewährleistung der Ausbeute und Qualität von Halbleiterbauelementen unerlässlich sind. Das Lithius Pro Z-i Werkzeug ist mit einem ausgeklügelten Wafer-Handling ausgestattet, das eine reibungslose und präzise Bewegung von Silizium-Wafern während der gesamten Bearbeitungsstufen gewährleistet. Dieses Modell soll den Waferkontakt und die Kontamination minimieren und so das Risiko von Ertragsverlusten und Defekten verringern. Darüber hinaus verfügt der Lithius Pro Z-i über fortschrittliche Reinigungs- und Trocknungsfunktionen, um sicherzustellen, dass die Wafer vor Eintritt in den Lithographieprozess frei von Verunreinigungen sind. Eine der kritischen Funktionen des Lithius Pro Z-i Geräts ist die Photolackierung. Photoresist ist ein lichtempfindliches Material, das auf Siliziumscheiben abgeschieden wird, um die Muster zu definieren, die während des Lithographieprozesses übertragen werden. Der Lithius Pro Z-i ist mit einem hochpräzisen Photolackspendesystem ausgestattet, das eine gleichmäßige und gleichmäßige Beschichtung von Photolack auf Wafern ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass die Muster mit minimalen Dicken- und Abdeckungsschwankungen genau definiert werden. Die Lithius Pro Z-i Einheit verfügt neben den Beschichtungsfunktionen für Photoresist auch über fortschrittliche Entwicklungs- und Backmodule. Bei der Entwicklung wird der belichtete oder unbelichtete Photolack entfernt, um das zugrunde liegende Muster auf dem Wafer aufzudecken. Der Lithius Pro Z-i nutzt präzise chemische Dosiersysteme und optimierte Prozessparameter, um eine hohe Entwicklungsgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit zu erreichen. Außerdem spielt das Backmodul des Lithius Pro Z-i eine entscheidende Rolle bei der Stabilisierung der Photolackschicht auf dem Wafer. Durch sorgfältige Steuerung der Temperatur- und Zeitparameter während des Backvorgangs sorgt die Maschine dafür, dass der Photolack ausgehärtet und gehärtet wird, um nachfolgenden Bearbeitungsschritten standzuhalten. Dies ist wesentlich, um hochauflösende Muster zu erzielen und die Integrität des Halbleiterbauelements zu erhalten. Insgesamt ist TEL Clean Track Lithius Pro Z-i ein hochmodernes Photoresist-Tool, das erweiterte Funktionen für die Halbleiterherstellung bietet. Mit seiner Präzisionstechnik, Automatisierung und fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen ermöglicht der Lithius Pro Z-i den Halbleiterherstellern hohe Erträge, leistungsstarke Geräte und eine schnellere Markteinführung für Halbleiterprodukte der nächsten Generation.
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