Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z #293802347 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z ist eine Photolackausrüstung der nächsten Generation zur Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Dieses System verwendet fortschrittliche Technologie, um eine schnelle, präzise und zuverlässige Fotolackabscheidung zu ermöglichen. TEL Clean Track Lithius Pro Z bietet mit seinen automatisierten Spurlithographie-Prozessen Qualitätsgleichmäßigkeit und erreicht bis zu 0,3 - μ m Dickenabweichung über die gesamte Waferoberfläche. Die Einheit weist außerdem eine hochpräzise Stufe zur genauen Ausrichtung des Substrats beim Einbringen mehrerer Wafer in die Kammer während des Abscheideprozesses auf. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z arbeitet in einer Ultra High Vacuum (UHV) Umgebung von 10-11 Torr, um eine hochwertige Arbeitsatmosphäre zu erhalten. Die Maschine nutzt eine ultrakurze Wellenlänge (266 nm) von tiefem ultraviolettem (DUV) Licht, um die Photolackmuster auf der Halbleiterscheibe zu erzeugen. Diese kurze Wellenlänge ermöglicht eine hohe Auflösung bis auf 0,3 μ m. Das DUV-Licht wird von einem Oben-Unten-Laserwerkzeug zur gleichmäßigen Strukturierung über die gesamte Waferoberfläche bereitgestellt. Die Lasermusterbelichtung wird durch die elektrostatische Spannfuttertechnologie weiter verbessert, wodurch eine gleichmäßige Strukturierung von der Mitte des Wafers zur Kante erfolgt. Der Photolackentwickler hat eine extrem niedrige NF-Konzentration von 0,8% oder weniger, um eine vollständige Auflösung belichteter Muster zu gewährleisten und ein hochwertiges und gleichmäßiges Photolackmuster zu erzeugen. Der Entwickler ist auch eine umweltfreundliche Lösung, die grün CDP-zertifiziert und konform mit SEMI S2-Standard ist. Clean Track Lithius Pro Z bietet auch erweiterte Optionen wie die Abscheidung von gemischt-molekularen Schichten, die mehrschichtige Abscheidung und Resistmuster mit unterschiedlichen Dicken. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z wurde mit Hochleistungszyklus entwickelt, um einen hohen Durchsatz und geringe Ausfallzeiten bei der Verarbeitung mehrerer Chargen in Folge zu bieten. Insgesamt ist TEL Clean Track Lithius Pro Z ein fortschrittliches und effizientes Photoresist-Asset, das überlegene Genauigkeit und Effizienz für die Herstellung von hochentwickelten Halbleiterbauelementen bietet. Dieses Modell eignet sich perfekt für die Herstellung einer breiten Palette von Halbleiterbauelementen.