Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9203697 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius
ID: 9203697
Wafergröße: 12"
Coater / Developer system, 12" Multi block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius ist eine fortschrittliche Photoresist-Prozessausrüstung, die entwickelt wurde, um ein Höchstmaß an Micro/Nano-Geräteherstellung zu erreichen. Mit seinem hohen Durchsatz und niedrigen Fehlerquoten ist es eine kostengünstige Lösung für Anwendungen, die von grundlegender bis zu fortschrittlicher Leistung reichen. Das System verwendet Laserlicht, um hochauflösende Muster auf Wafern zu erzeugen. Die direkte Puls-durch-Puls-Bildgebungsmethode unterstützt mehrere Lithographieoptionen, einschließlich ArF (Argonfluorid) Immersion, KrF (Kryptonfluorid) Trocken- und Hybridmodi. Die Strahlenergie kann an unterschiedliche Anwendungsanforderungen angepasst werden, mit einer hohen Pulswiederholrate für die Produktion und ultrahohen Genauigkeitspulsen für präzise Überlagerung und feine Merkmalsbelichtung. Eine breite Palette nützlicher Nachbelichtungsprozesse wie Backen, Entwickeln, Strippen, Härten und Ionenstrahlfräsen werden ebenfalls unterstützt. TEL Clean Track Lithius wurde entwickelt, um Kontaminationen zu minimieren und die Prozesseffizienz zu maximieren. Die Luftreinigungsmaschine des Geräts hilft dabei, Verschmutzungen und andere schwimmende Partikel aus der Exposition zu entfernen. Ein patentiertes aktives Geräuschunterdrückungsmodul senkt das Hintergrunddruckrauschen und das Werkzeug ist mit einem detaillierten Mikromaschenfilter, einer Dreifachfiltration und einer UV-Lichtsterilisationsfunktion ausgestattet. Das Gerät verwendet eine teilweise überwachte chemische Versorgungssperre, um das Risiko von chemischen Flecken oder Partikelverunreinigungen zu begrenzen. Das Modell verfügt auch über ein eingebautes intelligentes Gebläse und ist in der Lage, den Druck in der Kammer zu modulieren. Die Benutzeroberfläche von TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius ist einfach und intuitiv. Die gemeinsame Softwareumgebung kann für mehrere Plattformmodelle verwendet werden, und fortschrittliche technische Support-Services sind 24 Stunden am Tag verfügbar. Clean Track Lithius ist schnell, präzise und zuverlässig. Mit seiner kompakten Bauweise, wenigen Teilen und geringen Wartungskosten eignet es sich sowohl für kleine als auch für große Produktionsumgebungen. Das Gerät wurde strengen Tests unterzogen und hat eine Vielzahl von Zertifizierungen erreicht, darunter ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 und EPA-Konformität. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius ist eine leistungsfähige und kostengünstige Photoresist-Prozessausrüstung, die Ihnen helfen kann, die komplexen Anforderungen der heutigen Micro/Nano-Geräteherstellung zu erfüllen.
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