Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9206373 zu verkaufen

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ID: 9206373
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Coater / Developer, 12" Includes chem cabinet 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung, die ultrasaubere Ergebnisse mit verbessertem Durchsatz und Kosteneinsparungen liefert. Dieses System verwendet hochpräzise Laser, um die positiven oder negativen Bereiche eines gegebenen Photolackmusters schnell und präzise voneinander zu trennen. TEL Clean Track Lithius verfügt über einen einstellbaren optischen Basisblock, der die Belichtungsbedingungen und Lasereigenschaften individuell modifizieren kann und eine hochpräzise Strukturierung ermöglicht. Das Gerät nutzt auch einen modularen Aufbau, um die Setup-Flexibilität zu verbessern und große Substrate bequem zu laden und zu entladen. Die Maschine ist in der Lage, Muster mit einer minimalen Linienbreite und einem Abstand von 1,4 bzw. 2 Mikrometern mit einem Feinfokusstrahl zu erzeugen, der 0,5 Mikrometer auflösen kann. Das Gerät wird bequem durch eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) Software gesteuert, die eine einfache Bedienung und Echtzeit-Anpassungen ermöglicht. Der genaue Laser-Schussabstand verbessert die Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit von Mustern. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius ist so konzipiert, dass es stabil arbeitet und die für Produktionszwecke erforderliche Menge und Qualität gewährleistet. Clean Track Lithius verwendet spezielle chemische Reinigungsgeräte, die eine effiziente Reinigung des Substrats ermöglichen und auch in Serienumgebungen widerstehen. Das Werkzeug verwendet eine dreistufige Filterstruktur zur besseren Partikelkontrolle, was zu verbesserten Verschmutzungen und reduzierten Kosten und Stillstandszeiten im Zusammenhang mit der Reinigung führt. Die realisiert eine aktive Kontaminationserkennung, die die kontinuierliche Anpassung der Anlage nach Bedarf ermöglicht. Darüber hinaus integriert TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius die Echtzeit-Rasterelektronenmikroskopie und überträgt hochauflösende Bilder für eine schnelle Fehleranalyse und -auflösung. Dieses integrierte Erkennungsmodell entfällt die Notwendigkeit, die Probe von der Produktionslinie zu nehmen, was Zeit und Kosten reduziert. Das Gerät nutzt ferner ein Softwaresystem, um Ebenen und Merkmale wie Fokus- und Schusspositionen automatisch an die vorgegebenen Werte anzupassen, was eine noch höhere Präzision ermöglicht. Insgesamt ist TEL Clean Track Lithius eine fortschrittliche Photoresist-Einheit, die ultrasaubere Ergebnisse mit verbessertem Durchsatz und Kosteneinsparungen liefert. Mit präzisen Lasern, automatisierten Funktionsanpassungen, hochauflösender Bildgebung und aktiver Verschmutzungserkennung ist diese Maschine eine ideale Lösung für Produktionsumgebungen, die hohe Qualität und Wiederholbarkeit erfordern.
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