Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9213599 zu verkaufen
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ID: 9213599
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
(3) Coater / (2) Developer system, 12"
Single block
Main controller
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Robots: 1-0 CRA and 2-0 PRA
Power box
Chemical box
Temperature and Humidity (T&H)
TCU
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius ist eine Photoresist-Ausrüstung, mit der Schaltungen auf Halbleiterscheiben strukturiert werden. Das System schreibt mittels maskenloser Laserlithographie Muster von Photoresists, die dann auf Halbleiterscheiben übertragen werden können. Bei dem Verfahren werden zwei oder mehr Photoresists auf die Oberfläche des Wafers aufgebracht. Mit dem ersten Photolack wird ein Muster von Punkten oder Linien zu Schaltungselementen abgeschieden, während der zweite Photolack eine durchgehende Linie auf den strukturierten Linien bildet. Dies ermöglicht eine genauere Kontrolle der feinen Details einer Schaltung. TEL Clean Track Lithius-Einheit verwendet einen Laserstrahl, um hochauflösende Muster auf den Fotolacken auf dem Wafer herauszuschneiden. Die Tiefe der Muster ist für unterschiedliche Schaltungsentwürfe einstellbar. Der Photolack wirkt dann als Maske zum Ätzen des Halbleitersubstrats, wobei mit einer Ätzlösung exakte Muster auf dem Wafer erzeugt werden. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Maschine ist eine zuverlässige Lösung für die Herstellung komplexer und hochauflösender Muster auf dem Wafer. Das Werkzeug arbeitet mit einer breiten Palette von Materialien und kann mit verschiedenen Resist-Konstruktionsprozessen verwendet werden. Es liefert saubere und konsistente Ergebnisse mit überlegener Genauigkeit. Zudem ist die Anlage mit ihrer Hochgeschwindigkeits-Laserscanning- und Musterfähigkeit hochproduktiv. Das Modell wurde für eine einfache Bedienung, Wartung und Reparatur konzipiert. Diese Photolackausrüstung ist kompatibel mit allen gängigen Halbleiterherstellungsprozessen wie Abscheidung, Oxidation, Diffusion und Ätzen. Seine breite Palette von Anwendungen macht es ideal für mehrere Branchen einschließlich Halbleiter, elektronische Geräte und Automobilherstellung. Das System kann problemlos mit komplexen Mustern umgehen und eignet sich besonders für die mehrschichtige Photomaskenproduktion. Abschließend ist Clean Track Lithius eine fortschrittliche Photoresist-Einheit, die eine Vielzahl von Anwendungen bewältigen kann. Es ist hoch zuverlässig und mit der höheren Genauigkeit und den Hochleistungslaserscan-Fähigkeiten effizient. Die Maschine ist einfach zu bedienen und zu warten und ist mit allen wichtigen Halbleiterherstellungsprozessen kompatibel. Dies macht es zu einer idealen Lösung für mehrere Branchen für die Herstellung komplexer Muster auf dem Wafer.
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