Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9404399 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius ist ein Photoresist-Gerät zur Herstellung integrierter Schaltungsbauelemente. Dieses System ermöglicht die anspruchsvolle lithographische Strukturierung schmaler, präziser Merkmale auf einem Wafer aus Halbleitermaterial. Diese Technologie ermöglicht die genaue Lieferung hochauflösender Schaltungsmuster bei kritischen Abmessungen. Die Einheit besteht aus drei Hauptkomponenten: einem Stepper/Scanner, einer Photolackbahn/-modul und einem Nassbankmodul. Der Stepper/Scanner stellt die exakte Lichtquelle zur Verfügung, die genau auf die zu strukturierenden Wafer zeigt und die korrekte Positionierung der Lichtquelle gewährleistet. Die Photolackspur/-modul steuert die Applikation der Photolackflüssigkeit, mit der das Schaltungsmuster auf dem Wafer erzeugt wird. Dieses Material wird in einer bestimmten Dicke angewendet und muss strengen Parametern entsprechen, um die Genauigkeit der KE-Muster sicherzustellen. Schließlich übernimmt das Nassbankmodul die chemische Verarbeitung des Wafers durch Aushärten des Photolacks, Ätzen und andere Prozesse - alles mit absoluter Präzision durchgeführt, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Um die präzisesten Muster auf dem Wafer zu erreichen, muss die Maschine richtig kalibriert werden. Der Schrittschalter/Scanner muss fortgeschritten und korrekt ausgerichtet sein, wobei alle Komponenten auf optimale Leistung überprüft werden. Die Photolackschiene/-modul muss sauber gehalten werden, frei von Verunreinigungen, die die Gleichmäßigkeit der Photolackapplikation negativ beeinflussen würden. Schließlich muss das Nassbankmodul in optimalem Zustand gehalten werden, um sicherzustellen, dass alle Tanks und Rohre frei von jeglichem Aufbau sind und alle Chemikalien ordnungsgemäß gelagert und überwacht werden. Zusammenfassend ist TEL Clean Track Lithius ein 3-in-One-Tool, das hochauflösende Schaltungsmuster mit höchster Präzision präzise liefern kann. Diese Anlage erfordert ein hohes Maß an Wartung und korrekte Kalibrierung, um die Genauigkeit der erzeugten Muster zu gewährleisten.