Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198152 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 ist eine Photolackausrüstung, die für fortschrittliche Lithographie- und Fertigungsprozesse in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es verwendet eine einzigartige Mustertechnik, die als HxP (High-X Movement Patterning) bekannt ist, um einheitliche, hochauflösende Ergebnisse zu gewährleisten. TEL Clean Track Mark 5 verwendet ein optimiertes Soft-Touch-Schrittsystem und bietet hochgenaue Masken mit hoher Dichte, kurzen Linienbreiten und transparenten Feldern. Die Schritteinheit besteht aus einer Reihe von Komponenten, darunter einem akustooptischen Modulator (AOM), einer Objective Lens Machine (OLS), einer Schrittstufe und einer Polarisationsstufe. Das AOM ist für schnelle und effiziente Maskengewebe konzipiert, während das OLS eine erhöhte Bildgebungsgenauigkeit und -leistung bietet. Die Schrittstufe sorgt für stetige und genaue Bewegungen während der Prozessausführung, während die Polarisationsstufe die Gesamtleistung durch Optimierung der Schrittwerkzeugkalibrierung erhöht. Der HxP-Prozess des Asset beinhaltet eine dreistufige Methode der Photoresist-Strukturierung. Zunächst wird eine erste Schaltungsanordnung auf den Wafer aufgedruckt. Anschließend wird der Wafer abgeschrägt, um eine gleichmäßige Feld-zu-Feld-Lücke zu erzeugen, wodurch die Belichtungszeit im nächsten Schritt minimiert wird. Schließlich erfolgt die Photomaskenbelichtung unter Verwendung einer Laserabtasttechnik zur Qualitätssicherung und Genauigkeit. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 ist auf Durchsatz und Präzision ausgelegt und optimiert die Prozessgenauigkeit, um gleichmäßige und genaue Ergebnisse sowohl bei hohen Seitenverhältnissen als auch bei vertikalen Strukturen zu erzielen. Das Modell ist automatisiert und verfügt über integrierte bildgebende Anpassungen, wie z. B. rezeptbasierte bildgebende Modusoptimierungen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine bibliotheksbasierte Datenbank, mit der Benutzer bekannte Rezepte für einen schnellen und einfachen Abruf speichern können. Neben seinen fortschrittlichen Funktionen und der präzisen Musterung ist Clean Track Mark 5 auch mit Sicherheit als oberste Priorität konzipiert. Es verwendet ein einzigartiges Staubsammelsystem für maximale Sicherheit und verhindert die Ansammlung gefährlicher Partikel im Reinraumarbeitsbereich. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 eine fortschrittliche Photolackeinheit, die entwickelt wurde, um Anwendern Präzision und Genauigkeit sowie erhöhte Sicherheit zu bieten. Sein einzigartiger HxP-Prozess sorgt für einheitliche und optimale Ergebnisse, während seine automatisierten Funktionen und bibliotheksbasierte Datenbank die Maschine sowohl benutzerfreundlich als auch effizient machen.