Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz #9302022 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz ist eine hochmoderne Photolackanlage zur Strukturierung integrierter Schaltungen auf Halbleitersubstraten. Es ist voll kompatibel mit 5V, 0.25-Mikron-Designs und ist für höchste Ausbeute und Leistung ausgelegt. Zu den fortschrittlichen Funktionen gehören ein optimiertes Triple-Purge-Alignment-System, ein Dual-Mode-Grid-Aligner und eine integrierte Anti-Collision-Einheit. Die Triple-Purge-Ausrichtmaschine ermöglicht eine präzise Erfassung der Ausrichtmarken innerhalb weniger Mikrometer. Dies sorgt für Genauigkeit und minimiert den Verlust der Mustergenauigkeit durch die Verschiebung des Zielsubstrats. Neben der Feinausrichtungsgenauigkeit bietet der Dual-Mode-Raster-Aligner eine verbesserte Ausrichtungsgenauigkeit aus drei Dimensionen. Dadurch wird sichergestellt, dass die Positionen ganzer Muster entsprechend der vorgegebenen Konstruktionszeichnung genau bearbeitet werden. Das Tool verfügt auch über eine integrierte Anti-Kollision-Asset. Sie verhindert jeglichen Kontakt zwischen der Abtaststufe und dem Halbleitersubstrat durch die Verwendung mehrerer optischer Sensoren. Darüber hinaus stoppt es den Betrieb, wenn ein möglicher Kontakt zwischen den beiden Systemen erkannt wird, wodurch eine Beschädigung des Substrats wirksam verhindert werden kann. Der Mark 5Vz ist das fortschrittlichste Fotolackmodell auf dem Markt und bietet höchste Geschwindigkeit und Genauigkeit. Sein optimiertes Design beseitigt Fehler, reduziert die Komplexität und erhöht die Ertragsrate. Seine Antikollisionsausrüstung trägt dazu bei, dass Muster korrekt erzeugt werden, was kostspielige Schäden am Substrat verhindert. Damit ist sie eine ideale Wahl für die moderne hochpräzise Produktion integrierter Schaltungen.