Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 / Mark 8 #293656061 zu verkaufen
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TEL Clean Track Mark 7 und Mark 8 Systeme sind fortschrittliche Photolacksysteme zur Verarbeitung und Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen. Die Systeme bieten eine Photolackverarbeitung, die sowohl die Mikrolithographie als auch die Nachbelichtungsprozesse abdeckt. Auf mikrolithographischer Ebene wird Licht bei der Herstellung eines Halbleiterbauelements verwendet. Dieses Licht wird auf die Photolackschicht gerichtet, um ein Maskenmuster zu erzeugen. Das Gerät verwendet fortschrittliche optische Komponenten und Software, um die notwendige Auflösung und Lichtintensität für die Hochleistungslithographie genau bereitzustellen. Bei der Nachbelichtungsätzstufe wird die dem Licht ausgesetzte Photolackschicht mit einem Ätzmittel behandelt, das ein Muster bildet. Der Photolack wird dann leicht mit fortgeschrittenen Geräten wie Gleichstrom-Sauerstoffplasma und O2-reaktiven Ätzern entfernt. Die Clean Track Mark 7 und Mark 8 Systeme sind auf hohe Präzision und geringe Defektivität ausgelegt. Das Clean Track Mark 8 System, das neueste Gerät von TOKYO ELECTRON, hat eine höhere Auflösung als das Mark 7. es verwendet auch innovative Technologien wie einen luftgestützten Mikropartikelentlüfter für einen sauberen Betrieb. Dies hilft, Schäden und Abbau von Komponenten in der Maschine zu verhindern, was zu einem besseren Durchsatz und einer besseren Produktqualität führt. Die Clean Track Mark 7 und Mark 8 Systeme verfügen über erweiterte Steuerungs- und Automatisierungstools für die Fotolackverarbeitung. Softwarekomponenten wie ProSysWafer ermöglichen es Benutzern, den gesamten Produktionsprozess von jedem Ort aus zu überwachen. Darüber hinaus bietet das Tool Optionen zur statistischen Prozesssteuerung (SPC), die wertvolle Einblicke in den Photolackverarbeitungsprozess bieten. Darüber hinaus ist die Anlage so konzipiert, dass sie Veränderungen in der Umwelt während des Produktionsprozesses standhält und somit für den Einsatz in verschiedenen Produktionsumgebungen wie Reinraum, Standardumgebung und Vakuum geeignet ist. Das Modell bietet auch komfortable Wartungsfunktionen wie Selbstdiagnose und vorbeugende Wartungsalarme. Abschließend bieten TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 und Mark 8 Systeme fortschrittliche Photolackverarbeitungsmöglichkeiten für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Die Systeme verfügen über fortschrittliche optische Komponenten, Software und Ätztechnologien, die ihnen eine überlegene Auflösung und Präzision bei geringer Defektivität ermöglichen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über Automatisierungs- und Steuerungswerkzeuge und ist auch in anspruchsvollen Produktionsumgebungen sehr zuverlässig.
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