Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #130339 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 130339
(1) Coater / (2) Developers system
Left to right directional feed
Adhesion unit
(6) Cooling plates
(5) Hot plates
(4) Station C/S (Load/ Unload)
De-installed.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung der TEL Corporation. Es ist ein vollautomatisches und leistungsstarkes Lithographiesystem zur Herstellung von mikroelektronischen Geräten. TEL Clean Track Mark 7 besteht aus zwei Hauptkomponenten, dem Hauptprozessor und dem optischen Objektiv. Der Hauptprozessor ist für die Dekodierung digitaler Daten, die Steuerung des Lithographie-Prozesses sowie die Überwachung der Qualität der resultierenden Bilder verantwortlich. Die optische Linse ist eine hochpräzise optische Einheit bestehend aus Spiegeln, Prismen und Linsen. Es ist dafür verantwortlich, das Design auf dem Wafer abzubilden, das Design auf die Oberfläche des Wafers zu übertragen und Bildfehler zu reduzieren. Der Lithographievorgang erfordert höchste Präzision und Genauigkeit. Um dieses TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 zu erreichen, werden verschiedene Technologien eingesetzt, wie ein hochgenaues Laserinterferometer, eine Strahllenkspiegelmaschine und ein hochempfindlicher Detektor. Das Laser-Interferometer erkennt Positionsabweichungen der optischen Komponenten, während das Strahllenkspiegelwerkzeug dafür sorgt, dass die Konstruktion präzise auf den Wafer abgebildet wird. Der empfindliche Detektor ist dafür verantwortlich, reflektiertes Licht zu detektieren und ein elektrisches Signal auszugeben, das zur genauen Messung der Lichtintensität verwendet wird. Clean Track Mark 7 verfügt auch über ein High Resolution Optical Proximity Correction (HROC) Asset, das einen fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmus verwendet, um Bildfehler zu reduzieren. Das HROC-Modell eliminiert Resistschatten und andere bildgebende Artefakte, die zu Geräteleistungsverlusten führen können. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 verfügt auch über eine hochentwickelte Substrat Handhabung Ausrüstung, die entworfen ist, um Substrate verschiedener Größen und Formen zu handhaben. Das Substrathandhabungssystem ist auch für die Steuerung von Prozessparametern wie Temperatur, Druck und Belichtungszeit zuständig. TEL Clean Track Mark 7 ist eine fortschrittliche und hochentwickelte Einheit zur Herstellung außergewöhnlich hochwertiger mikroelektronischer Geräte. Seine fortschrittlichen Bildgebungs- und Substrathandhabungsfunktionen, kombiniert mit seinem hochgenauen Laserinterferometer, einer Strahllenkspiegelmaschine und einem empfindlichen Detektor, machen TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 zur perfekten Wahl für einen effizienten und kostengünstigen Lithographieprozess.
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