Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293609900 zu verkaufen
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ID: 293609900
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
System, 8"
(2) Cores
(3) Spinners
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine hochmoderne Photolackausrüstung, die entwickelt wurde, um eine präzise chemische Ätzung auf Hochleistungs-Halbleiterbauelemente anzuwenden. Das System verwendet ein lichtempfindliches organisches Material, um selektiv einen Teil des Materials von der Geräteoberfläche zu entfernen und Photolackmuster für die nachfolgende Abscheidung und Strukturierung zu erzeugen. Diese hochpräzise und konsistente Technik erfordert den Einsatz spezifischer Chemikalien, Lichtquellen und Substrate sowie fortschrittlicher Maschinensteuerungssysteme für maximale Zuverlässigkeit und Leistung. TEL Clean Track Mark 7 verwendet ein Vakuumkammersputterverfahren, um eine spezielle Beschichtung auf der Oberfläche des Halbleiterbauelements aufzubringen, um eine verbesserte chemische Ätzantwort zu erzielen. Der spezialisierte Photolack wird dann auf das Gerät gesponnen, bevor er einer bestimmten optischen Wellenlänge des Lichts ausgesetzt wird. Dieses Licht muß gleichmäßig über die gesamte Substratoberfläche aufgebracht werden, um eine Gleichmäßigkeit beim Ätzen zu gewährleisten. Während des Belichtungsvorgangs ätzt das Licht selektiv Teile des Photolackmaterials weg, um die gewünschten Muster zu erzeugen. Sobald der Belichtungsprozess abgeschlossen ist, schaffen die verbleibenden Photoresist und zerstäubte Beschichtungskombination eine Barriere, um unerwünschtes Ätzen in anderen Bereichen der Vorrichtung zu verhindern und eine saubere, gleichmäßige Abscheidung zu gewährleisten. Der gesamte Ätzvorgang wird in einem speziellen stromlosen Bad abgeschlossen, das potentielle elektrische Entladungen oder thermische Beschädigungen der Struktur verhindert. Am Ende des Prozesses können Geräte mit einzigartigen Merkmalen wie Monitoren, Kontakten, Leitungen und anderen für Schaltungsentwürfe wesentlichen Merkmalen gemustert werden. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 Präzision und Konsistenz machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für viele fortschrittliche Halbleiterherstellungstechniken. Darüber hinaus verfügt die Maschine über die Fähigkeit, einen überlegenen Schutz gegen Verunreinigungen zu bieten, die kritische Geräteeigenschaften stören können, was zu Geräteausfällen oder Nicht-Funktionalität führt. Darüber hinaus ist Clean Track Mark 7 mit seiner Fähigkeit, komplizierte Photoresist-Muster zu erstellen, auch ideal für Forschung und Prototypen-Anwendungen.
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