Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293638993 zu verkaufen
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ID: 293638993
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Baking system, 8"
Wafer flow: Right to left
Silicon wafer
Process-1:
FC-9801 F NEC Controller
Stage / Indexer: Open CSB / Cassette stage block
Cassette Block Robotics Arm (CRA)
Process-2:
Process Block Robotics Arm (PRA)
(6) DHP
(9) LHP
(5) CPL
Power transformer
SHINWA Temperature and Humidity Controller (THC)
UPS
Hard Disk Drive (HDD) included
(2) Missing parts:
Main arm Y-motor
Main arm Z-motor driver
1995 vintage.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist ein Photoresist-System, das für überlegene Bildqualität, Produktivität und erstklassige Prozesskontrolle für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Das System ist eine Kombination aus einem Entwicklungs-/Beschichtungsmodul, einem Abbildungsmodul und einem Kontaktstepper mit Aligner. Das Entwicklungs-/Beschichtungsmodul soll überlegene Fähigkeiten für die Entwicklung und Beschichtung von Prozessen bieten. Es verwendet fortschrittliche blasenfreie Technologie, um die höchste Qualität zu gewährleisten. Das Modul verfügt auch über eine Folienfront- und Dickenanpassungssteuerung, um eine korrekte Foliendicke zu gewährleisten. Zusätzlich bietet das Modul eine Geschwindigkeitsanpassung, um die Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit der Prozesse zu gewährleisten. Das Bildverarbeitungsmodul verfügt über erweiterte laserinterferometrische Scanfunktionen sowie eine vollwertige Scanoberfläche, um eine maximale Auflösung des Bildes zu gewährleisten. Darüber hinaus kann das Abbildungsmodul sowohl für Präzisions- als auch für Massenproduktionsläufe eingesetzt werden. Es verfügt auch über einen manuellen Bildsetzer für einmalige Bilder. Der Kontaktstepper mit Aligner soll eine genaue Positionierung der Maske zur konsistenten Registrierung des Bildes ermöglichen. Der Stepper verfügt auch über eine erweiterte Mustererkennungssteuerung, um die Registrierung zwischen dem Maskierungsmaterial und der Oberfläche genau zu steuern. Außerdem ermöglicht der Kontaktstufen eine äußerst genaue Kontaktausrichtung, so dass das Bild perfekt auf das Substrat ausgerichtet ist. TEL Clean Track Mark 7 ist ein hochmodernes Photoresist-System, das in der Lage ist, überlegene Bildqualität, Produktivität und erstklassige Prozesskontrolle zu liefern. Seine fortschrittlichen Funktionen gewährleisten Konsistenz und Qualitätskontrolle in einer Vielzahl von Prozessen. Darüber hinaus sorgen seine kompakte Größe und das energieeffiziente Design dafür, dass es sich leicht in kleine Räume einfügen kann. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 bietet die ideale Lösung für eine Vielzahl von bildgebenden Anwendungen.
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