Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293641936 zu verkaufen
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ID: 293641936
(1) Coater / (2) Developer system, 8"
Single block
Silicon wafer
Wafer flow: Right to left
Process station (PSB): Process block robotic arm (PRA)
ADH
(4) LHP
(3) CPL
FC-9801 F Controller
Stage: Cassette stage
Indexer: Open CSB
CRA
2-1 COT unit:
Resist dispense nozzle with HV pump
Side rinse nozzle
Dual back rinse nozzles
Photoresist temperature controller
Motor flange temperature controller
Direct gravity drain type
2-2 / 2-3 DEV unit:
Stream nozzle
Dual D.I top rinse nozzle
Dual back rinse nozzles
Motor flange temperature controller
Direct gravity drain type
Auto damper
Auto dummy dispenser
Chemical supply system:
Solvent supply for COT unit
Develop solution supply for (2) DEV units
Power transformer
SHINWA THC Temperature and humidity controller
Hard Disk Drive (HDD) included
(2) Circular pumps missing.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung für die Herstellung fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte. Dieses System verfügt über eine hochpräzise Strahlfokussierung und Ausrichteinheit Kammer, so dass die Arbeiter Job-by-Job-Verarbeitung auf atomarer Ebene durchführen. TEL Clean Track Mark 7 besteht aus zwei Stufen: einer Ausrichtkammer und der Substratverarbeitungsstufe. Die Ausrichtkammer weist eine Strahlablenkmaschine mit zwei Linsen auf, die zur Ausrichtung des Strahls und damit zur Fokussierung des Lichts auf den exakten Punkt auf dem zu bearbeitenden Substrat dienen. Dies gewährleistet ein hochgenaues und wiederholbares Ergebnis für jeden Auftrag. Die Substratverarbeitungsstufe besteht aus einer mit verschiedenen Gasen gefüllten Vakuumkammer zur Reinigung und Entfernung gefährlicher Partikel und Luftverunreinigungen, die das Substrat verunreinigen könnten. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 kann mit Hilfe der Steuerungssoftware eine Auflösung von 1µm erreichen. Dies ist einstellbar und kann auf verschiedene Prozesse abgestimmt werden. Das Tool verfügt auch über eine Reihe von erweiterten KEs, mit denen Sie den Fokus, die Größe und die Form des Balkens anpassen können. Dadurch kann der Anwender den Prozess in sehr kurzer Zeit und mit sehr hohen Genauigkeiten optimieren. Darüber hinaus verwendet Clean Track Mark 7 Asset ein zum Patent angemeldetes, innovatives Bestrahlungsverfahren, das die Signalintensität und Signalhomogenität erhöht. Dies erhöht die Auflösung von Geräten durch Verringerung der Oberflächenunvollkommenheiten und sorgt für eine gleichbleibende hochwertige Waferätzung. Das Modell verfügt auch über eine Reihe von Diagnosewerkzeugen wie den On-Wafer-Ätztest, Photoresist-Reinigungstest, E-Beam-Simulation, automatisierte Rezeptsteuerung und vieles mehr. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die höchste Qualität der Waferätz- und Photomasken-Verarbeitung zu gewährleisten. Mit seiner hohen Auflösung, Steuerungssoftware und einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen können die Arbeiter Aufgaben ausführen, die eine hohe Präzision verlässlich und genau erfordern.
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