Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746065 zu verkaufen
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ID: 293746065
Wafergröße: 8"
(2) Developer systems, 8"
Wafer flow: Left to right
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung für Standard- und Advanced Patterning-Lösungen für die Halbleiterherstellung. Es ist ein hochgradig konfigurierbares System, das industrielle, akademische und Forschungseinrichtungen unterstützt und integrierte Prozesse und erweiterte Funktionen bietet. TEL Clean Track Mark 7 verfügt über eine Mischeinheit und eine Benutzeroberflächensteuerung und einen äußerst zuverlässigen Hauptmotor. Dieser Hauptmotor ist mit den Ausgabe- und Stufeneinheiten verbunden und steuert diese, die wiederum die Resistversorgungseinheit antreibt. Das Mischaggregat mischt die chemischen Komponenten mit automatisierten Misch-, Rühr- und Mischprozessen. Dadurch wird eine homogene Verteilung des Resists in allen Schichten der Folie gewährleistet. Der Bedienoberflächencontroller ermöglicht es Benutzern, die gewünschten Spende- und Schrittbedingungen per Knopfdruck oder über die einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche (GUI) auszuwählen. Die Daten können dann in Echtzeit angepasst werden, um eine präzise Kontrolle über die Strukturierung und Resist-Anwendung zu gewährleisten. Eine Funktion, die die Bedienung der Maschine weiter vereinfacht, ist der integrierte Rezepteditor (der auch über die GUI zugänglich ist), der eine einfache Erstellung, Modifikation und Wiederholung von Resist-Rezepteinstellungen ermöglicht. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 verfügt zudem über ein automatisiertes Werkzeug zur Filmdickensteuerung, das eine präzise Steuerung der präzisen Anwendung und Charakterisierung von Folien unterschiedlicher Dicke bietet, was wichtig ist, um hochauflösende Muster zu gewährleisten. Die Anlage verfügt auch über ein modernes Reinigungsmodul, um sicherzustellen, dass Filme entfernt werden, ohne irgendwelche Wohnungen zu hinterlassen. Clean Track Mark 7 hat auch eingebaute Sicherheitsfunktionen, wie ein Sicherheitslüftungs- und Sicherheitsabgasmodell, die das Risiko von Lärm reduzieren, die meisten und Partikel während des Betriebs freigesetzt werden. Die Ausrüstung entspricht auch internationalen Industriestandards wie OSHA, CE und EPA. Schließlich ist TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 auch mit einer Reihe von Software und Hardware kompatibel, was die Integration in bestehende Labor- und Fertigungsinfrastrukturen erleichtert. Diese Flexibilität macht es zu einem idealen System für eine Vielzahl von Anwendungen.
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