Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746066 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 293746066
Wafergröße: 8"
(1) Coater / (2) Developer system, 8" Wafer flow: Right to left Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die es Herstellern von integrierten Schaltungen (ICs) ermöglicht, eine feine und genaue Verarbeitung komplizierter Strukturen zu erreichen. Das System ist in der Lage, hochgenaue und zuverlässige verzinnte Oxidstrukturen zu produzieren, ohne dass eine Vormustermaskierung erforderlich ist. TEL Clean Track Mark 7 verwendet eine einzigartige patentierte Optra Beam-Profiltechnologie, um die Strahlform und Leistungsdichte genau an das Substrat und das Photolackprofil anzupassen, um gewünschte Verarbeitungsziele zu erreichen. Die Maschine ermöglicht die Echtzeitüberwachung und Einstellung von Strahlform und Leistungsdichte und ermöglicht eine hochgenaue und effektive Verarbeitung auch bei komplexen Formen und Merkmalen. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 verwendet auch hochmoderne Bildgebungs- und Laserkontrolltechniken sowie eine verbesserte Bestrahlungseinheit, die Schatten- und Flare-Effekte eliminiert. Durch die präzise Steuerung der Laserspitzengröße und Leistungsdichte reduziert die Maschine die Filmüberlappung und verbessert so die Genauigkeit der Endergebnisse. Die Photolackschicht, die in Verbindung mit Clean Track Mark 7 verwendet wird, ist thermisch stabil und weist einen sehr geringen elektrischen Widerstand auf. Dadurch kann das Werkzeug extrem dünne (1-2 Mikrometer breite) Strukturen mit hohem Seitenverhältnis sowie sehr feine Linienbreiten und schmale Aluminium-Leiterbahnen erzeugen. Das Asset ermöglicht auch die kontinuierliche Anpassung des Prozessfensters, sodass der Kunde anspruchsvolle Verarbeitungs- und Leistungskriterien wie Bildauflösung und kritische Merkmalshöhe definieren kann. Darüber hinaus können Stufen- und Wiederholungsalgorithmen aktiviert und genutzt werden, um ICs auf mehreren Substraten mit hoher Genauigkeit zu replizieren. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist ein leistungsstarkes und zuverlässiges Photoresist-Modell, ideal für Anwendungen, die Präzision und Genauigkeit erfordern, wie zum Beispiel für die IC-Fertigung. Seine fortschrittliche Optik, Bildgebung und Lasersteuerung ermöglichen eine hochgenaue, aber flexible Verarbeitung, die auch bei komplexen Substraten perfekte Ergebnisse gewährleistet.
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