Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293770189 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (auch als CTM7 bezeichnet) ist eine Photolackanlage zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein vollautomatisches, berührungsloses Belichtungswerkzeug, das für die Herstellung unterschiedlichster Photomasken entwickelt wurde. Das CTM7 ist ein Mittelstreckensystem, das entwickelt wurde, um präzise Photolithographie-Operationen mit engen Toleranzen durchzuführen und gleichzeitig eine hohe Ausbeute zu erhalten. Das Gerät verfügt über einen fortschrittlichen Drehscheibenfördermechanismus, der mehrere Belichtungen unterstützt und eine konsistente Substratausrichtung gewährleistet. Der Drehtisch ist mit einem fortschrittlichen Schrittmotor verbunden, um präzise Substrathandhabungsfunktionen bereitzustellen. Es enthält auch eine Vakuumfuttermaschine, die die Handhabung von zerbrechlichen Substraten mit engen Gleichmäßigkeitsniveaus unterstützt. Das Werkzeug ist in der Lage, 5-Zoll, 6-Zoll und 8-Zoll-Wafer unter Beibehaltung einer Ausbeute von 99,99% zu handhaben. Das Asset ist mit einer UHV-Quellkammer (Ultra-High Vacuum) und optischen Teilen ausgestattet. Dieses Setup ermöglicht Dual-Fokus- und Scanning-Belichtungsvorgänge mit Belichtungsgenauigkeit bis auf wenige Nanometer. Es bietet auch doppelte Belichtungs- und Laserbelichtungsfunktionen sowie eine einstellbare Ausrichtung für Linien- und Kantenbelichtungen. Das CTM7 verfügt zudem über ein programmierbares Wafer-Positionierungsmodell, mit dem Wafer automatisch auf den Belichtungsbereich positioniert werden können. Dies hilft, wiederholbare, qualitativ hochwertige Ergebnisse mit einem Minimum an manueller Eingabe zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das CTM7 über eine breite Palette von Software, die eine einfache Bedienung und präzise Steuerung des Belichtungsprozesses ermöglicht. Abschließend ist TEL Clean Track Mark 7 eine fortschrittliche Photolackausrüstung, die sich perfekt für die Herstellung von Halbleiterbauelementen eignet. Es verfügt über einen Drehscheibenfördermechanismus, ein Vakuumfuttersystem, eine Ultra-High-Vacuum-Quellkammer, duale Fokus- und Abtastfähigkeiten, Laserbelichtungsfähigkeiten, einstellbare Ausrichtung und eine programmierbare Wafer-Positioniereinheit. Es ist in der Lage, konstante und qualitativ hochwertige Ergebnisse mit einem Minimum an manueller Eingabe zu produzieren.