Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158020 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist die neueste Generation von Photoresist-Systemen, die den neuesten Anforderungen der Halbleiterherstellung und -verarbeitung gerecht werden. Dieses Gerät bietet fortschrittliche Funktionen, die eine überlegene Palette an Fähigkeiten und Leistung bieten. TEL Clean Track Mark 7 verwendet die Direct-Drive Maskless Exposure (DME) -Technologie, die eine bessere Strukturierung auf Substraten wie Photolackschichten ermöglicht. Mit dieser Technologie belichtet das Optiksystem ein Substrat nach den CAD-Daten (Computer-Aided Design) anstelle einer Photomaske. Durch diese Methode entfällt die Notwendigkeit eines zusätzlichen Reinraums für die Herstellung von Masken, was Zeit und Geld spart. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 verfügt auch über aktive Muster Präzision (APP) Tuning-Fähigkeit. Diese Fähigkeit ermöglicht eine bessere Strukturierung von Photolackschichten, bei denen die hochauflösenden Details wie LWR (line width roughness) am wichtigsten sind. APP unterstützt die Aufrechterhaltung von LWR innerhalb von 5 nm und ist somit ideal für Prozesse, bei denen die Präzision ein Muss ist. Neben DME und APP enthält Clean Track Mark 7 eine Substratbewegungseinheit. Dadurch kann das Substrat in X-, Y- und Z-Richtung und Kipprichtung für bis zu 30-Grad-Versatz bewegt werden. Diese Maschine ermöglicht mehrere Substratgrößen und -formen, und alle Anpassungen und Ausrichtungen können schnell und genau durchgeführt werden und sparen Zeit und Geld. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 verfügt zudem über eine Reihe modernster Reinigungsfunktionen. Dieses Tool verwendet eine patentierte Aerospray-Reinigung, die bei der Reinigung von Photoresist die Streuung von Partikeln reduziert. Es bietet auch einen proprietären Nassreinigungsprozess mit einem DI-ähnlichen Wasser, das hilft, Oberflächenkorrosion durch starke Chemikalien zu minimieren. TEL Clean Track Mark 7 ist auch mit einem Pre-Alignment-Asset ausgestattet, das hilft, die Genauigkeit der Ausrichtung durch die Messung der Länge, Breite und Fläche jedes Werkzeugs aus den CAD-Quelldaten zu maximieren. Dieses Modell trägt auch dazu bei, den manuellen Arbeitsaufwand während der Stanzplatzierung zu reduzieren und reduziert den Bedarf an manueller Inspektion und Optimierung. Zusammenfassend bietet TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 Geräte die höchste Leistung und die fortschrittlichsten Funktionen der Halbleiterindustrie in Photoresist-Systemen. Die maskenlose Belichtungstechnologie des Direktantriebs, die Fähigkeit zur aktiven Musterpräzisionsabstimmung, das Substratbewegungssystem und die Reihe von Reinigungsfunktionen bieten außergewöhnliche Genauigkeit bei schnellem Setup und Betrieb.