Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158026 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 ist eine hochmoderne Photoresist-Ausrüstung zur Verbesserung der Produktionsausbeute für IC- und Halbleiterhersteller. Das System wendet ein Photopolymer „Tinte“ auf vorgefertigte dünne Metall-, Polyimid- und andere Filmsubstratscheiben an, was eine präzise Strukturierung von Photoresist ermöglicht. TEL Clean Track Mark 7 bietet eine erweiterte integrierte Prozessausrichtungsfunktion, die eine schnelle und genaue Ausrichtung für die Belichtung mit Mustern bis zu 0,25 µm ermöglicht. Dieses Merkmal verbessert die Photosensibilisierungsgenauigkeit für Muster in der Größenordnung von 0,6 µm. Die Maschine verfügt auch über eine Auto-Warmup-Option, bietet einen schnellen Heizprozess vor dem Belichtungsprozess und verhindert Belichtungsstörungen durch ungleichmäßige Temperaturen. Das Gerät verwendet den ultrakurzwelligen Excimerlaser, um die Genauigkeit lichtempfindlicher Bilder zu verbessern. Dieser Laser bietet eine höhere Helligkeit und eine größere Belichtungsfläche, was eine kürzere Belichtungszeit mit weniger Maschinenzykluszeit ermöglicht. Zusätzlich bietet der Laser eine höhere Auflösung im Vergleich zu herkömmlichen Systemen, indem er die minimale Funktionsgröße reduziert und die Variation effektiv verringert. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 verfügt außerdem über ein integriertes Dekontaminationswerkzeug (DCS). Das DCS wurde entwickelt, um Kontaminationen im Bildgebungs- und Belichtungsbereich vor der Exposition zu beseitigen. Diese Funktion reduziert die Wahrscheinlichkeit einer Kontamination während des Belichtungsprozesses und trägt zur Verbesserung der Genauigkeit und Stabilität des Photoresist-Strukturierungsprozesses bei. Clean Track Mark 7 ist mit mehreren Optionen ausgestattet, um die besten passenden Bedingungen für die angegebenen Materialien und Anwendungen anzupassen. Die erweiterten Funktionen des Asset sind mit einer Reihe von Kundensupport-Services ausgestattet, darunter Dienstleistungen wie Ferndiagnose, Modellwartung und Software-Upgrades. All diese Merkmale machen TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 zu einem der zuverlässigsten und effizientesten Photolacksysteme für die Halbleiter- und IC-Fertigung.
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